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用于一等量块检定的柯氏干涉仪的改造
2009年
介绍了经过改造后的柯氏干涉仪用于一等量块的检定。从激光干涉仪直接测量量块长度的原理出发,通过对干涉条纹的整数部分N、小数部分ε以及修正量C的确定,计算出量块长度。改造中结合激光干涉技术、图像采集判读等技术,提高了量块测量准确度,解决了一等量块长度测量问题。
裴雅鹏黄晓蓉
关键词:干涉仪图像
一等量块光波干涉测量要件被引量:1
2008年
以高精度干涉条纹小数测量、研合膜厚度的量化控制与量块内部温度测量为重点,对进行一等量块光波干涉测量的各要件进行了分析,并引用国际比对结果予以了验证。
黄晓荣李小林
关键词:一等量块研合性温度
一等量块光波干涉测量要件
以高精度干涉条纹小数测量、研合膜厚度的量化控制与量块内部温度测量为重点,对进行一等量块光波干涉测量的各要件进行了分析,并引用国际比对结果予以了验证。
黄晓荣李小林
关键词:一等量块研合性温度
文献传递
一等量块光波干涉测量要件
以高精度干涉条纹小数测量、研合膜厚度的量化控制与量块内部温度测量为重点,对进行一等量块光波干涉测量的各要件进行了分析,并引用国际比对结果予以了验证。
黄晓荣李小林
关键词:一等量块温度测量
文献传递
用于一等量块检定的柯氏干涉仪改造
介绍了改造后的柯氏干涉仪用于一等量块的检定,从激光干涉仪直接测量量块长度的原理出发,通过对干涉条纹的整数部分N、小数部分ε以及修正量C的确定,计算出量块长度。改造中结合激光干涉技术、图像采集判读等技术,提高了量块测量不确...
裴雅鹏黄晓蓉
关键词:一等量块柯氏干涉仪图像采集
文献传递
用于一等量块检定的柯氏干涉仪改造
介绍了改造后的柯氏干涉仪用于一等量块的检定,从激光干涉仪直接测量量块长度的原理出发,通过对干涉条纹的整数部分N、小数部分ε以及修正量C的确定,计算出量块长度。改造中结合激光干涉技术、图像采集判读等技术,提高了量块测量不确...
裴雅鹏黄晓蓉
关键词:柯氏干涉仪图像采集
文献传递
用于一等量块检定的柯氏干涉仪改造被引量:4
2008年
介绍了改造后的柯氏干涉仪用于一等量块的检定,从激光干涉仪直接测量量块长度的原理出发,通过对干涉条纹的整数部分N、小数部分ε以及修正量C的确定,计算出量块长度。改造中结合激光干涉技术、图像采集判读等技术,提高了量块测量不确定度,解决了一等量块长度测量问题。
裴雅鹏黄晓蓉
关键词:柯氏干涉仪图像采集
满足一等量块检定要求的接触式激光量块干涉仪被引量:6
2002年
最新研制的接触式激光量块干涉仪主要用于测量一、二等量块的中心长度 ,其长度测量不确定度达到 ( 0 .0 2 +0 .2 L )μm。文中介绍了其工作原理、测量不确定度分析 。
赵静王承钢杨自本汪德宝牛立新崔岩梅
关键词:检定
100mm一等量块自动测量仪测量不确定度评定
2002年
分析了 1 0 0 mm一等量块自动测量仪的误差来源 ,确定了测量量块的合成标准不确定度和扩展不确定度。
牛立新朱振宇严家骅张富根
关键词:自动测量仪测量不确定度
0.5~100毫米一等量块的光波干涉测量被引量:3
2000年
本文拟从测量系统、不确定度与测量结果这两个方面介绍我院测量不确定度为U99≤( 0 0 2 +0 2L) μm的一等量块光波干涉测量。
黄晓蓉李小林
关键词:一等量块不确定度

相关作者

李小林
作品数:7被引量:5H指数:1
供职机构:中国测试技术研究院
研究主题:一等量块 要件 研合性 温度 不确定度
黄晓荣
作品数:13被引量:4H指数:1
供职机构:中国测试技术研究院
研究主题:一等量块 不确定度 要件 温度 研合性
黄晓蓉
作品数:6被引量:7H指数:2
供职机构:中国测试技术研究院
研究主题:一等量块 检定 柯氏干涉仪 图像采集 干涉仪
裴雅鹏
作品数:30被引量:45H指数:4
供职机构:北京航天计量测试技术研究所
研究主题:一等量块 检定 柯氏干涉仪 知识管理 航天
余晓曦
作品数:15被引量:30H指数:3
供职机构:中国测试技术研究院
研究主题:磁通计 发生器 充放电 一等量块 校准规范