搜索到 篇“ 传感器结构 “的相关文章

相关作者

康晓旭
作品数：405被引量：1H指数：1
供职机构：上海集成电路研发中心
研究主题：像元 红外探测器 衬底 牺牲层 微桥结构
秦明
作品数：435被引量：398H指数：10
供职机构：东南大学
研究主题：风速风向传感器 MEMS 风速传感器 微机械 风速风向
张白
作品数：398被引量：163H指数：5
供职机构：北方民族大学
研究主题：激光束 光电探测器 激光源 激光干涉仪 反射镜
董林玺
作品数：188被引量：120H指数：7
供职机构：杭州电子科技大学
研究主题：锚点 传感器 电极 振子 惯性传感器
蒋庄德
作品数：958被引量：1,007H指数：15
供职机构：西安交通大学
研究主题：传感器芯片 电极 传感器 芯片 MEMS