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低电阻率
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时效性降序
时效性升序
相关度排序
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被引量排序
时效性降序
时效性升序
一种
低
电阻率
钛酸钡基PTC陶瓷
本发明公开了一种
低
电阻率
钛酸钡基PTC陶瓷的制备方法,包括BaCO<Sub>3</Sub>,TiO<Sub>2</Sub>,SrCO<Sub>3</Sub>,CaCO<Sub>3</Sub>,Nb<Sub>2</Sub>...
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低
电阻率
欧姆接触结构及其制备方法
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低
电阻率
欧姆接触结构及其制备方法,半导体
低
电阻率
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用于形成具有
低
电阻率
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用于降
低
金属间隙填充物的
电阻率
的方法包含以下步骤:在特征的开口中且在基板的区域上沉积共形层,其中共形层的第一厚度为大约10微米或更小,使用各向异性沉积工艺直接地在共形层上且在开口的底部并且直接地在所述区域上沉积非共形金属...
徐翼
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低
电阻率
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低
电阻率
高失效温度的单层扩散阻挡层。所述扩散阻挡层为铜互连扩散阻挡层,所述铜互连扩散阻挡层位于铜和硅基底之间,所述铜互连扩散阻挡层同时含有M和N元素,所述M选自Zr、...
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一种磁控溅射制备高致密度、
低
电阻率
氮化钛薄膜的方法
本发明公开了一种磁控溅射制备高致密度、
低
电阻率
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杨师诚
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用于形成
低
电阻率
接触的方法
用于减小接触
电阻
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吕疆
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低
电阻率
的等离子体增强钨成核
一种在基板上形成结构的方法包括在至少一个特征内形成钨成核层。方法包括通过循环气相沉积制程形成成核层。循环气相沉积制程包括形成成核层的一部分,然后将成核层暴露至化学气相传输(CVT)制程,以从成核层的一部分中去除杂质。CV...
杨宗翰
尹俊英
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低
电阻率
导电包装材料及其制备方法
本发明公开了一种高强度
低
电阻率
导电包装材料及其制备方法,涉及包装材料技术领域,首先,将氧化锌纳米棒清洗并通过超声震荡分散在去离子水中,加入尿素进行氮掺杂处理,最后清洗并烘干得到氮掺杂氧化锌纳米棒;其次,将聚丙烯酸溶解于去...
姜震
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一种
低
电阻率
碳化硅单晶的生长方法、系统及单晶
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低
电阻率
碳化硅单晶的生长方法、系统及单晶,将碳化硅粉料均匀摊铺在石墨坩埚底部,在碳化硅粉料表面均匀摊铺金属碳化物材质颗粒,并将碳化硅籽晶粘接在石墨坩埚顶部;对石墨坩埚进行密封,对其内...
谢雪健
田佳奇
陈秀芳
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徐现刚
用于集成电路的
低
电阻率
互连件及其形成方法
本公开提出一种用于集成电路的互连件及其形成方法。形成用于集成电路的互连件的方法,包含:标识互连件势垒材料;标识多种潜在掺杂元素;形成包含互连件势垒材料的潜在势垒结构的集合体,互连件势垒材料在多个掺杂位置处且以多种潜在掺杂...
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作品数:227
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王磊
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供职机构:华南理工大学
研究主题:薄膜晶体管 电极 氧化物 显示面板 金属氧化物
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被引量:876
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姚日晖
作品数:383
被引量:227
H指数:8
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研究主题:薄膜晶体管 喷墨打印 氧化物 溶液法 墨水
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