搜索到 篇“ 光栅干涉仪 “的相关文章

相关作者

张鸣
作品数：390被引量：264H指数：9
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 工件台 位移测量系统
王志立
作品数：29被引量：0H指数：0
供职机构：合肥工业大学
研究主题：成像 光栅干涉仪 投影图像 探测器 相位光栅
朱煜
作品数：555被引量：787H指数：15
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
周常河
作品数：451被引量：381H指数：11
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光栅 达曼光栅 电子束直写 衍射效率 位相
韦春龙
作品数：34被引量：12H指数：1
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光栅干涉仪 光栅 自准直 衍射 数据采集和处理