搜索到 篇“ 刻蚀系统 “的相关文章

相关作者

张晓丹
作品数：600被引量：645H指数：13
供职机构：南开大学
研究主题：太阳电池 薄膜太阳电池 钙钛矿 微晶硅 硅基薄膜太阳电池
张庆钊
作品数：48被引量：26H指数：3
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：启辉 原子层沉积 等离子体 刻蚀工艺 电极
李婷
作品数：184被引量：211H指数：8
供职机构：北京大学
研究主题：微电子机械系统 刻蚀 键合 牺牲层 成品率
张大成
作品数：240被引量：424H指数：10
供职机构：北京大学
研究主题：MEMS 微电子机械系统 刻蚀 硅 键合
葛洪
作品数：21被引量：11H指数：3
供职机构：南开大学
研究主题：VHF-PECVD 电极 均匀电场 刻蚀系统 功率