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一种用于ALD设备的固态
本发明属于前驱体瓶技术领域,涉及一种用于ALD设备的固态瓶,包括:存储瓶体,用于存储固态粉末;加热组件,用于加热所述存储瓶体内的固态粉末使其升华得到气态粉末;所述加热组件设置于所述存储瓶体上;进料组件,用于向...
王浙加王梓康明帅强沈云华李明张亦哲戴昕童李国庆
一种半导体固态前驱体材料的罐装方法和获得固态前驱体蒸汽的方法及其应用
本发明属于半导体材料技术领域,具体涉及一种半导体固态前驱体材料的罐装方法及其应用。所述罐装方法包括以下步骤:将固态前驱体材料进行升华再结晶处理,然后经过破碎、过筛处理后得到N种颗粒粒径不同的前驱体材料,再填充到前驱体...
郑宇航毛鸿超董岐
433MHz加热腔腔体及固态工业化解冻设备
本发明涉及微波解冻装置,具体涉及一种433MHz加热腔腔体及固态工业化解冻设备。包括置于机架上的物料传送装置、金属探测器、微波处理模块、电机;微波处理器的上部和底部分别设有一个微波,微波通过波导管与喇叭口相连,两个...
薛长湖薛倩倩温运启姜睿姜如雪崔欢欢蒋冰雪王晓涵柯枭杜鑫姜晓明
用于固态设备的拆装装置
本实用新型提供了一种用于固态设备的拆装装置,包括固定底座和扳手件;所述固定底座用于与固态设备的底座固定;所述扳手件包括盖体固定部和把手部,所述盖体固定部设有收容槽和供固态设备的排气管穿出的贯穿部,所述收容槽与所述固...
沈健超
固态等离子体增强化学气相沉积设备及方法
本发明属于化学气相沉积技术领域,公开了一种固态等离子体增强化学气相沉积设备及方法,设备包括:加热装置设置于真空腔室外壁并与固态蒸发器位置对应;固态蒸发器为封闭结构,其输气端口与气体喷淋头的中心线以及载气通气孔位于同...
张海牛鼎元赵学平杜赵新崔晓明
一种液冷散热微波固态
本发明公开了一种液冷散热微波固态,涉及微波固态技术领域,包括微波固态主机,所述微波固态主机包括外层壳体和内层壳体,所述外层壳体设置于所述内层壳体的外侧,所述外层壳体与所述内层壳体之间为冷却夹层,所述冷却夹层与循环...
张晏铭张彦行徐永振李文东
一种微波直接导入式微波固态
本申请涉及一种微波直接导入式微波固态,电路板设有射频微带线和微波传输波导结构,射频微带线与微波传输波导结构电性连接;微波天线振子,与微波传输波导结构连接,微波天线振子与外部微波谐振腔体贴近或贴合,有效减少了传统射频接头...
冯玉玲
用于输送固态的进料装置
本申请公开了一种用于输送固态的进料装置,属于化工领域。用于输送固态的进料装置包括:固态物料容器、控温设备和载气固态物料容器具有密闭的空腔,固态物料容器的出气口与进料装置的供料口连通;控温设备用于控制固态物料容器所...
刘恒昌薛运周
固态余量检测装置及其检测方法
本发明属于电子技术领域,公开一种固态余量检测装置及其检测方法,固态余量检测装置包括第一检测装置、第二检测装置和控制器,第一检、第二检测装置固定在瓶的上方且吊装设置,第一、第二检测装置均包括环形壳体以及环形壳体上的称...
陈志敏 姚立柱 国政 张丛 李英万 姜瑞英 陈帅 聂翔 陈祥龙
固态余量检测装置及其检测方法
本发明属于电子技术领域,公开一种固态余量检测装置及其检测方法,固态余量检测装置包括第一检测装置、第二检测装置和控制器,第一检、第二检测装置固定在瓶的上方且吊装设置,第一、第二检测装置均包括环形壳体以及环形壳体上的称...
陈志敏 姚立柱 国政 张丛 李英万 姜瑞英 陈帅 聂翔 陈祥龙

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杨阳
作品数:520被引量:216H指数:7
供职机构:四川大学电子信息学院
研究主题:微波 微波加热 微波源 保真 率定
黄卡玛
作品数:650被引量:971H指数:14
供职机构:四川大学
研究主题:微波 微波加热 微波源 天线 磁控管
李海欧
作品数:71被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:电极 量子点 欧姆接触电极 欧姆接触 电控
姜晓明
作品数:107被引量:128H指数:8
供职机构:中国海洋大学
研究主题:南极磷虾 微波 海参 磷虾 虾青素
郭光灿
作品数:612被引量:1,276H指数:20
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:量子信息 量子 量子态 量子通信 量子计算