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2025年4月15日星期二

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搜索到5487篇“ 工件台“的相关文章

工件台及曝光装置: 本发明涉及一种工件台及曝光装置，工件台包括扫描滑块，步进滑块，载台，第一驱动电机和力抵消机构；扫描滑块设于地基上，扫描滑块能相对地基沿扫描方向移动；步进滑块设于扫描滑块上，步进滑块能相对扫描滑块沿步进方向移动；载台连接于...; 崔长植江德智

减振装置、工件台系统及光刻机设备: 本发明提供一种减振装置、工件台系统及光刻机设备；减振装置包括内部框架、减振器、外部框架、平衡质量块和底部框架；内部框架上用于设置掩模台、物镜单元和工件台平台，工件台平台支撑工件台微动部分；减振器上设置内部框架；外部框架上...; 刘磊陈文枢卞骏曹文

一种电动攻丝机可调节工件台: 本实用新型公开了一种电动攻丝机可调节工件台，包括支撑台，支撑台内开设有装配腔，支撑台的顶部嵌入安装有操作台，操作台的表面开设有贯穿至装配腔内的连接槽，连接槽内滑动连接有调节架，调节架的顶部可拆卸固定装配有夹持台，装配腔内...; 雷鹍张宪会雷瀚陈晓兵

光刻机工件台监控系统: 本实用新型涉及一种光刻机工件台监控系统，包括控制模块及报警模块，控制模块包括控制器及控制板卡，控制板卡与控制器连接，控制板卡用于连接光刻机工件台的电机驱动器，并用于通过电机驱动器控制工件台启停，控制器具有数字输入模块及模...; 请求不公布姓名

一种工件台组件、半导体生产设备及方法: 本发明提供了一种工件台组件、半导体生产设备及方法，工件台组件包括工件台本体和压边机构；工件台本体包括吸盘座和吸盘，吸盘设在吸盘座上；多个压边机构环绕布置在吸盘外周；压边机构包括水平驱动件、垂向驱动件、压板部，水平驱动件与...; 陈文枢杨博光王鑫鑫蔡晨冒鹏飞

真空设备的旋转工件台的控制方法、装置及真空设备: 本申请涉及一种真空设备的旋转工件台的控制方法、装置及真空设备；所述方法包括：获取真空腔体内部的各种部件的第一位置参数，并根据所述第一位置参数确定所述旋转工件台在真空腔体内的最大运动范围；根据当前的应用工艺确定所述旋转工件...; 刘伟基刘运鸿冀鸣

一种接近接触式曝光机的工件台: 本发明公开了一种接近接触式曝光机的工件台，水平驱动装置具有沿X轴方向和Y轴方向运动的自由度；旋转台具有绕自身中心轴线旋转的自由度；升降台设置于旋转台的上方，具有沿Z轴方向运动的自由度；Z轴音圈电机设置于旋转台和升降台之间...; 傅舰艇林世超宋延奎李聪

一种光刻机工件台用无缆化动铁式磁悬浮平面电机: 一种光刻机工件台用无缆化动铁式磁悬浮平面电机，本发明为了解决动铁式磁悬浮结构动子上面的负载需要线缆进行供电，进而对工件台运动精度造成影响的问题，本发明包括电机定子单元和电机动子单元，所述电机动子单元位于电机定子单元的上部...; 那拓扑石庭松段钰靖段永鑫赵勃谭久彬

晶圆工件台及电子束检测设备: 本申请公开了一种晶圆工件台及电子束检测设备，该晶圆工件台包括底座、驱动组件和承载件；所述底座设有多个承载柱，所述承载柱用于交接晶圆；所述驱动组件安装在所述底座上，用于提供驱动力；所述承载件安装在所述驱动组件上，所述承载件...; 何跃米涛倪进华

零位传感器测量系统及光刻机工件台: 本实用新型提供了一种零位传感器测量系统及光刻机工件台，该零位传感器测量系统中三个零位传感器固定于计量框架的底部，对应的角锥镜固定于光刻机工件台顶面或者侧面，且零位传感器与角锥镜一一对应；三个零位传感器的位置非在同一直线；...; 张翔宇范玉娇韩昱常密生

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谭久彬: 作品数：2,373被引量：1,459H指数：18; 供职机构：哈尔滨工业大学; 研究主题：隔振器精密测量仪器转子精密测量技术隔振技术

朱煜: 作品数：572被引量：840H指数：16; 供职机构：清华大学; 研究主题：光刻机平面电机工件台六自由度气浮轴承

胡松: 作品数：471被引量：450H指数：9; 供职机构：中国科学院光电技术研究所; 研究主题：光刻机工件台光刻掩模生物芯片

陈兴林: 作品数：339被引量：852H指数：15; 供职机构：哈尔滨工业大学; 研究主题：光刻机工件台神经网络物理仿真微分对策

张鸣: 作品数：403被引量：296H指数：10; 供职机构：清华大学; 研究主题：光刻机六自由度平面电机位移测量系统工位