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微型机电系统被引量：86
2000年
分析了微型机电系统的特点、主要科学技术问题、应用和市场。预计到 2 0 0 3年微小系统的市场约为 40 0亿美元 ,是商用航空业的一半。简介了我国的研究情况。国际上微型机电系统技术刚走向全面发展 。
周兆英王晓浩叶雄英王伯雄李莎刘卫丹
关键词：微型机电系统微传感器微执行器
控制微型机电系统装置的一个或多个静电梳状结构
一种微型机电系统(MEMS)装置，包括：反射镜；至少一个铰链；静电梳状结构；以及控制装置。在一段时间内，所述控制装置使电压供应到所述静电梳状结构，以使所述静电梳状结构使所述反射镜关于所述至少一个铰链在特定方向上倾斜。在所...
W.金E.王
用于有源电路封装的微型机电系统(MEMS)装置防静摩擦的装置和方法
本公开涉及用于有源电路封装的微型机电系统(MEMS)装置防静摩擦的装置和方法。一个或多个止挡件特征(例如凹凸结构)形成在标准ASIC晶片上的钝化层，用于防止MEMS装置在具有由ASIC晶片直接封端的MEMS装置集成装置中...
陈立T·K·努南杨光隆
微型机电系统开关及微型机电系统开关的制备方法
本申请实施例提供了一种微型机电系统开关及微型机电系统开关的制备方法。该微型机电系统开关包括：衬底；信号线，设置在衬底一侧；开关梁，位于信号线远离衬底的一侧，开关梁设有容置孔，容置孔在衬底上的正投影位于信号线在衬底上的正投...
谭秋云孟虎
适用于微型机电系统的纤维结构银锌电池
近年来，以微型机器人、微型无人飞行器为例的微型机电系统受到广泛关注。由于微型机电系统本身空间有限，因此，微型机电系统里的微能源一般为柔性的微型异形电池。然而，通常是通过提高活性物质负载体积与集流体体积之比来提高电池容量的...
徐唱
关键词：银锌电池纤维结构微型机电系统
用于微型机电系统微型阀的开环控制系统
用于通过MEMS微型阀控制传动系统的流体压力的系统，所述系统包括被配置为接收目标指令压力、当前系统指令压力输入信号和传动系统操作温度的传动控制器。功率确定模块根据控制器中接收的目标指令压力、当前系统指令压力输入信号、传动...
E.N.富勒P.阿鲁纳萨拉姆W.C.朗A.饶K.辛卡尔G.K.格利
微型机电系统麦克风
本实用新型公开一种微型机电系统麦克风，微型机电系统麦克风包括屏蔽罩、PCB板、振膜以及隔热层，所述屏蔽罩具有收容腔和与收容腔连通的开口；PCB板，盖设于所述开口处；所述振膜位于收容腔内，且设于所述PCB板面向所述收容腔的...
庞胜利 王顺
用于有源电路封装的微型机电系统(MEMS)装置防静摩擦的装置和方法
本公开涉及用于有源电路封装的微型机电系统(MEMS)装置防静摩擦的装置和方法。一个或多个止挡件特征(例如凹凸结构)形成在标准ASIC晶片上的钝化层，用于防止MEMS装置在具有由ASIC晶片直接封端的MEMS装置集成装置中...
陈立T·K·努南杨光隆
微型机电系统麦克风及其制造方法
本发明提供了微型机电系统麦克风。所述微型机电系统麦克风包括振膜和与该振膜间隔设置以形成一声传感电容结构的背板，所述振膜和背板之间形成一声腔，所述背板上设有多个连通所述声腔的声学通孔，所述麦克风还包括一用于支撑所述声传感电...
孟珍奎
用于微型机电系统微型阀的开环控制系统
用于通过MEMS微型阀控制传动系统的流体压力的系统，所述系统包括被配置为接收目标指令压力、当前系统指令压力输入信号和传动系统操作温度的传动控制器。功率确定模块根据控制器中接收的目标指令压力、当前系统指令压力输入信号、传动...
E.N.富勒P.阿鲁纳萨拉姆W.C.朗A.饶K.辛卡尔G.K.格利
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周兆英
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余国彬
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研究主题：光刻分辨力 相机 投影光刻物镜 深空探测 投影光刻
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