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一种微差压传感器及封装结构
本实用新型公开了一种微差压传感器及封装结构，其中，微差压传感器包括基底、至少一个电极对、支撑层。基底包括在其厚度方向上贯通的腔体。电极对沿基底厚度方向设置且位于腔体内，每个电极对包括第一电极和第二电极，第一电极和第二电极...
孟燕子康森先
微差压传感器及其制作方法
本公开涉及一种微差压传感器及其制作方法，微差压传感器包括感应膜；衬底，位于所述感应膜的一侧，并且所述衬底具有空腔，所述空腔暴露所述感应膜；盖板电极，设置于所述感应膜远离所述衬底的一侧，所述盖板电极包括：盖板层和电极层；所...
常文博李月魏秋旭王立会郭伟龙张韬楠孙杰何娜娜刘宗陈龙
一种多功能微差压传感器
本实用新型公开了一种多功能微差压传感器，涉及传感器技术领域，包括产品后壳，所述产品后壳内壁底端开设有横向密封槽，所述横向密封槽内部设有安装机构；所述安装机构包括设置在横向密封槽的横向弧形密封胶条，所述横向弧形密封胶条远离...
单森林
高精度智能气体微差压传感器
本发明公开了高精度智能气体微差压传感器，包括保护壳体，保护壳体内部设置有MEMS数字传感器、模数转换器、微处理器、电源管理模块与通信接口；保护壳体外部设置有控制按键，控制按键的状态被微处理器读取，并用于配置传感器的工作参...
苟阳曹芬
一种微差压传感器式生物信号床
本发明公开了一种微差压传感器式生物信号床，包括信号采集垫子、挠性连接管和微差压传感器；所述信号采集垫子覆盖在床架的上表面，所述挠性连接管伸展在所述床架与信号采集垫子之间，所述挠性连接管的一端封闭，所述挠性连接管的另一端自...
宋军渡边嘉二郎孙京航
一种低倾角误差的微差压传感器
本发明公开了一种低倾角误差的微差压传感器，包括基座、压敏芯片、引脚和波纹膜片，所述波纹膜片封装在基座的轴向端，用于封装形成充油的封装空间，所述压敏芯片位于所述基座的封装空间内，且正压端朝向所述波纹膜片，所述压敏芯片的背压...
张龙赐金忠何迎辉曾庆平
微差压传感器及电子设备
本实用新型的实施例公开了一种微差压传感器及电子设备，其中微差压传感器包括：基板，基板设有在厚度方向上贯通基板的通孔MEMS芯片和ASIC芯片，MEMS芯片和ASIC芯片设置在基板上，MEMS芯片覆盖通孔；其中，MEMS芯...
张敏李刚梅嘉欣
一种高频响微差压传感器芯片结构与制备方法
本发明公开了一种高频响微差压传感器芯片结构与制备方法，所述芯片结构包括承压膜片层、应力检测层与玻璃封装层，承压膜片层包括压力膜片和芯片固支端；应力检测层包括固定膜片、应力检测单元和锚点，压力膜片与固定膜片之间具有间隙，应...
韩香广高漪赵立波皇咪咪樊姝陈科尚钰杰吴豫席杨萍王永录王小章王久洪蒋庄德
一种新型的微差压传感器芯体
本发明提供一种新型的微差压传感器芯体，涉及测量力技术领域，包括保护外壳和微差芯体，所述微差芯体安装于保护外壳内部，所述微差芯体的左右两侧分别安装有右气管和左气管，所述右气管和左气管均和微差芯体内部相贯通，所述微差芯体从左...
单森林
微差压传感器、封装结构、测试方法及电子设备
本发明提供了一种微差压传感器、封装结构、测试方法及电子设备，其中，所述微差压传感器包括MEMS芯片，MEMS芯片包括以层叠方式设置的基底、振膜以及背极板，背极板包括相互隔离的第一电极区域和第二电极区域，第一电极区域构成第...
张敏李刚梅嘉欣
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张娜
作品数：84被引量：42H指数：3
供职机构：沈阳仪表科学研究院有限公司
研究主题：传感器 极板 硅电容 压力传感器 差压传感器
洪扁
作品数：89被引量：59H指数：4
供职机构：上海市计量测试技术研究院
研究主题：活塞式压力计 压力计 超高压 砝码 压力控制器
李颖
作品数：67被引量：71H指数：5
供职机构：沈阳仪表科学研究院有限公司
研究主题：硅电容 极板 压力传感器 传感器 电容压力传感器
刘剑
作品数：32被引量：19H指数：3
供职机构：沈阳仪表科学研究院有限公司
研究主题：硅电容 极板 电容压力传感器 过载 传感器
潘征宇
作品数：51被引量：26H指数：3
供职机构：上海市计量测试技术研究院
研究主题：压力计 活塞式压力计 超高压 差压 校准装置