相关作者
- 方玉明
- 作品数：148被引量：146H指数：6
- 供职机构：南京邮电大学
- 研究主题：微执行器 MEMS PULL-IN 时钟数据恢复 微电子
- 黄庆安
- 作品数：923被引量：857H指数：13
- 供职机构：东南大学
- 研究主题：MEMS 风速风向传感器 无源无线 微机电系统 微电子机械系统
- 李伟华
- 作品数：276被引量：191H指数：7
- 供职机构：东南大学
- 研究主题：MEMS 多晶硅 微机电系统 残余应力 绝缘衬底
- 刘理天
- 作品数：631被引量：884H指数：12
- 供职机构：清华大学
- 研究主题：MEMS 硅基 硅 压力传感器 微机械
- 蒋庄德
- 作品数：1,021被引量：1,058H指数：15
- 供职机构：西安交通大学
- 研究主题：传感器芯片 电极 传感器 芯片 压阻
