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一种兼容压电式和电容式微机械超声换能器的制备方法
本发明属于微机械技术领域，具体是一种兼容压电式和电容式微机械超声换能器的制备方法。本发明微机械超声换能器制备方法分为硅硅键合工艺和阳极键合工艺；微机械超声换能器分为电容式、压电式、压电‑电容混合式；压电式单元结构包括衬底...
任俊彦王言吕宁
微机械构件及其制造方法
本发明涉及用于微机械系统的构件(16)和用于制造构件的方法。构件具有上侧和与上侧相对置的下侧且包括：至少一个第一结构元件，第一结构元件设置在构件(16)的第一区域内并且由至少一个第一间隙(19)界定；以及至少一个第二结构...
罗马·福克卡拉·希拉
一种基于零功率微机械开关的传感和监控系统
一种基于零功率微机械开关的传感和监控系统，它涉及一种传感和监控系统。本发明为了解决现有传感器使用寿命短，部署成本高的问题。本发明包括衬底、第一接触电极、第二接触电极、第一热敏机械手臂、第二热敏机械手臂、第一红外吸收器、第...
朱浠文张宇峰万阳
微机械结构及制作方法
本申请公开了一种微机械结构及制作方法，该微机械结构包括：衬底；第一牺牲层，位于衬底上，第一牺牲层中形成有第一腔体；第一结构层，位于第一牺牲层上，第一结构层包括向衬底方向凸出的凸起结构；其中，第一腔体使第一结构层中包括凸起...
赵成龙万蔡辛何政达刘新华谭海峰
微机械开关传感器的集成电路应用研究
2025年
基于微机械开关结构的传感器,作为微机械加工技术与传统电化学传感器技术相结合的产物,已经展现出其在新一代传感器技术中的独特优势。本文对各类微机械开关传感器进行了综合测试,其目的是为综合比较不同微型传感器的性能及优势,为日后硅基板微加工技术的进一步探索提供相应支撑,同时也为微机械开关传感器在船舶开关电器的发展方面提供新的探索思路。本文经测试研究表明各类传感器在反应速度、样品量需求、灵敏度以及人体植入监测等方面均表现出不同的优势与特点,随着元件尺寸的缩小,传感器的性能得到了显著提升。随着硅基微机械加工技术的不断提升,传感器元件的尺寸有望进一步缩小,推动电化学传感器技术的进一步发展。
韩科刘雪飞李奕龙李浩楠
关键词：微机械开关传感器
一种基于压阻-雪崩效应的参数测量方法及微机械结构
本发明提供一种基于压阻‑雪崩效应的参数测量方法及微机械结构，涉及微机电传感技术领域。该基于压阻‑雪崩效应的参数测量方法包括：调节效应结进入击穿状态；获取微机械结构的结构相关参数、效应结的初始击穿电参数和应力变化区受到应力...
韩盈舟彭天放乔昱阳夏阳
一种基于内外双层交错悬臂梁的MEMS惯性传感器微机械结构
本发明属于惯性仪表领域，具体涉及一种基于内外双层交错悬臂梁的MEMS惯性传感器微机械结构，包括：敏感单元，悬臂梁组件，以及固定框架；悬臂梁组件包括：套设在敏感单元外周的连接环，径向连接在连接环与敏感单元之间的沿着连接环圆...
伍文杰方偲媛詹韩雯钰
具有微机械结构的转速传感器和用于运行转速传感器的方法
提出一种转速传感器，所述转速传感器具有微机械结构并且具有质量振动器，其中，所述质量振动器能够借助驱动装置被驱动进行驱动振动，其中，所述转速传感器配置为用于保护所述微机械结构并且在探测到的自由落体状况的时间间隔期间配置成，...
K·K·兰格哈拉贾恩M·迪特里希
一种三轴微机械陀螺仪
本实用新型公开一种三轴微机械陀螺仪，包括外箱和箱板，所述外箱的内侧安装有陀螺仪组件，所述陀螺仪组件包括陀螺仪和底板，所述外箱的内侧安装有固定组件，所述固定组件包括夹套和卡板，所述夹套的内侧安装有卡紧组件，所述卡紧组件包括...
于强吕乐冯琦
一种采用压阻/压电检测的微机械陀螺
本发明公开一种采用压阻/压电检测的微机械陀螺，包括一组以上的杠杆耦合检测机构、驱动电容、检测质量块、外解耦机构、内解耦机构和菱形耦合机构，杠杆耦合检测机构与外解耦机构相连，外解耦机构与检测质量块相连，检测质量块与内解耦机...
郭中洋
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王跃林
作品数：723被引量：798H指数：14
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 键合 制作方法
廖小平
作品数：672被引量：0H指数：0
供职机构：东南大学
研究主题：微波功率传感器 漏电流 硅基 悬臂梁 功率传感器
朴林华
作品数：184被引量：101H指数：6
供职机构：北京信息科技大学
研究主题：微机械 陀螺 气流式 抗振动 角速度传感器
熊斌
作品数：218被引量：197H指数：7
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 键合 热电堆 弹性梁 微机械陀螺
李昕欣
作品数：545被引量：382H指数：10
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻