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微机械传感器设备和相应的制造方法
本发明涉及一种微机械传感器设备和一种相应的制造方法。微机械设备构型有衬底(S)，衬底具有前侧(VS)和后侧(RS)；其中，在前侧(VS)上在横向上间隔开地形成用于感测外部加速度和/或旋转的具有惯性结构(IE)的惯性传感器...
J·克拉森J·赖因穆特L·特伯杰
微机械传感器系统和用于运行微机械传感器系统的方法
本发明涉及一种微机械传感器系统(100)，具有微机械结构(110)并且具有操控和检测装置(120)，为了以预给定的输出数据速率在输出端(130)处重复地生成和输出传感器测量值，在与微机械传感器系统(100)的输出数据速率...
A·叶米利 C·皮特曼 J·施瓦茨
具有集成的应力传感器的微机械传感器和用于传感器信号的信号校正的方法
本发明从一种微机械传感器出发，所述微机械传感器具有MEMS衬底(10)并且具有罩衬底(40)，在所述MEMS衬底(10)上在空腔(20)中布置有具有至少一个传感器电极的微机械结构(30)，所述罩衬底布置在所述微机械结构上...
J·克拉森
具有转速传感器的微机械传感器系统及用于运行其的方法
提出一种具有转速传感器的微机械传感器系统以及一种用于运行其的方法，所述转速传感器具有能够被激励至振动的震动质量和震动质量的驱动装置，其中，为了驱动而用偏置电压和驱动电压来加载震动质量，其中，借助于呈交变电压形式的驱动电压...
F·迪亚齐G·卡扎尼加R·哈利柳林T·巴尔斯林科
微机械传感器设备的制造方法和相应的微机械传感器设备
本发明提出一种微机械传感器设备和一种相应的制造方法。微机械传感器设备配备有衬底(1)，该衬底具有膜片区域(M)，其中，在膜片区域(M)上构造有多个传感器层区域(S1‑S3)，所述传感器层区域具有相应的结构化传感器层(20...
A·克劳斯E·普赖斯
微机械传感器装置和用于制造微机械传感器装置的方法
本发明涉及一种微机械传感器装置(1)，包括衬底(2)和边缘层(3)，所述边缘层布置在所述衬底(2)上并且在横向上包围在所述衬底(2)上面的内部区域(IB)；至少一个膜片(4)，所述膜片跨越所述内部区域(IB)并且构造在所...
T·弗里德里希K·德塞尔C·赫尔梅斯
微机械传感器设备和对应的制造方法
本发明提出一种微机械传感器设备和一种对应的制造方法。所述微机械传感器设备配备有：衬底(10)，所述衬底具有前侧(VS)和后侧(RS)；安装在所述衬底(10)的前侧(VS)上的微机械传感器芯片(20)，所述微机械传感器芯片...
S·平特 N·格赖纳
用于重新校准微机械传感器的方法和可重新校准的传感器
提供一种用于重新校准传感器的方法，所述传感器具有：微机械的传感器结构，所述微机械的传感器结构具有至少一个可偏转的传感器结构元件(1)，所述至少一个可偏转的传感器结构元件用于探测及转换物理输入参量为电的传感器信号；第一电路...
M·迈尔T·泽布罗夫斯基W·盖格尔R·哈利柳林A·维斯孔蒂
具有应力解耦结构的微机械传感器
本发明涉及一种微机械传感器(100)，该微机械传感器具有：‑衬底(10)；布置在所述衬底(10)上的第一功能层(20)；‑布置在所述第一功能层(20)上的第二功能层(30)，该第二功能层具有能运动的微机械结构(31)；‑...
J·拜恩特纳C·舍林
微机械传感器以及用于制造微机械传感器的方法
一种微机械传感器包括电容式的第一传感器元件和第二传感器元件，分别具有第一电极和第二电极，其中第一电极的电极壁面和第二电极的电极壁面在第一方向上彼此对置并形成电容，其中第一电极可响应于待检测的变量在与第一方向不同的第二方向...
E·兰德格拉夫S·G·阿尔伯特S·比塞尔特S·普雷格尔M·罗斯
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吕树海
作品数：31被引量：18H指数：2
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：加速度 传感器 加速度传感器 微机械传感器 角速率
杨拥军
作品数：173被引量：238H指数：9
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：MEMS 微电子机械系统 微机械 硅 传感器
刘清惓
作品数：229被引量：239H指数：9
供职机构：南京信息工程大学
研究主题：温度传感器 太阳辐射 防辐射 计算流体动力学 传感器
李海涛
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供职机构：南京信息工程大学
研究主题：单晶硅片 微机械传感器 传感器 基板 测量电阻
王跃林
作品数：723被引量：798H指数：14
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 键合 制作方法