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- 陈学松林士淇
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- 基于晶圆键合的静电MEMS微驱动器的研究
- 随着科技的不断进步,对MEMS微驱动器的性能要求越来越高,包括更好的可靠性、更高的精度以及更低的成本。晶圆键合技术在这些方面提供了有效的解决方案。本文基于晶圆键合技术,深入研究了三种不同类型的静电微驱动器:基于Au/In...
- 王俊铎
- 关键词：微机电系统阳极键合
- 基于在线数据的压电微驱动器无模型预测控制方法
- 本公开实施例中提供了一种基于在线数据的压电微驱动器无模型预测控制方法，属于电学技术领域，具体包括：给定压电微驱动器控制系统期望的参考轨迹；利用带控制项的动态模态分解方法来求解压电微驱动器的线性逼近动力学系统，得到压电微驱...
- 陈学松 林士淇
- 1 mm圆柱形压电微驱动器的有限元分析与设计
- 2024年
- 研究设计了一种直径为1 mm、长度为5 mm的压电微驱动器,拟用于光学相干层析成像(OCT)内窥镜样机驱动与控制。利用有限元分析(FEA)软件对定子进行有限元建模和仿真,研究了材料参数和结构尺寸对定子振动特性和模态频率的影响。研究结果表明:微型驱动器定子的一阶弯曲振动频率为21 kHz。定子谐振频率随定子长度的增加急剧降低,随陶瓷厚度的增大而增大;粘接剂的材料特性与厚度对定子的模态频率影响不大,但对定子的振动特性有较大影响。当激励电压为100 V时,频率为21 kHz,驱动器空载转速达到400 r/min,堵转力矩为2.5 mN·m,基本满足OCT内窥镜应用要求。
- 刘周龙周铄朱强国郑友成王光庆
- 关键词：有限元模型粘接层
- 多维超精密微驱动器及控制系统
- 本发明公开了多维超精密微驱动器及控制系统，涉及精密仪器技术领域，多维超精密微驱动器包括减震基台，减震基台上设有两对向设置的气浮导轨，气浮导轨上对应设置有气浮台，相对气浮台之间连接有承重台，减震基台包括上下间隔相对设置的第...
- 陆敏杰贺慧平
- 基于飞秒激光制备微驱动器实现微流体操控的应用研究
- 微流体操控是当下研究的一个热点,研究人员利用光刻法、化学沉积法、3D打印技术等加工策略制备了可以运输微流体的微结构。但是,这些加工策略操作过程复杂并且调谐过程耗时久,严重阻碍了它们的实际应用。飞秒激光加工技术具有操作简单...
- 李大宇
- 关键词：飞秒激光驱动器微流体
- 一种基于柔顺机构的双向微驱动器
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- 蔡建阳杨海东徐康康
- 一种光催化复合微驱动器的制备方法
- 本发明涉及微驱动器领域，具体是一种光催化复合微驱动器的制备方法，其具体步骤如下：步骤S1、将二氧化钛和碳酸钙搅拌混合；步骤S2、根据在相同实验条件下的光催化产生气泡效率结果；步骤S3、配置聚乙二醇双丙烯酸酯水凝胶；步骤S...
- 杨润怀陈引李明亮
- 双光子3D打印pH响应型微驱动器加工方法
- 与传统的刚性机器人相比,软体机器人的结构具有更加柔软灵活,能够适应各种不同地形和复杂工作环境的特点。软体机器人在某些方面相比刚性机器人相比具有明显优势,例如,在医疗领域,软体机器人能够更加精确地模仿人类肌肉和骨骼的运动方...
- 赵秀宝
- 关键词：微尺度增材制造双层膜
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- 供职机构：哈尔滨工业大学
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- 丁桂甫
- 作品数：572被引量：736H指数：12
- 供职机构：上海交通大学
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- 陈本永
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- 供职机构：浙江理工大学
- 研究主题：激光 合成波长 双频激光器 激光干涉 正弦相位调制
- 刘本东
- 作品数：102被引量：46H指数：4
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