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全自动投影光刻机
本实用新型属于光刻机技术领域,公开了一种全自动投影光刻机,包括架,架上安装有平台,平台上安装有X轴直线电和立柱,X轴直线电上安装有Y轴直线电,Y轴直线电上安装有浮动构,立柱上设有安装台,安装台的上端面上设有...
张其文扶小莲刘阳波陈正洪
传感芯片投影光刻机匹配方法
本发明公开了一种传感芯片投影光刻机匹配方法。所述方法基于深度学习,利用预先标签的图形数据集通过三元子损失函数训练出能够较好表达图片源域到目标域映射关系的卷积神经网络,同时引入工艺窗口到目标函数中从而保证不会过拟合并在模型...
刘俊伯张清延孙海峰全海洋杜婧
一种应用于投影光刻机的大视场投影曝光物镜系统
本发明涉及一种应用于投影光刻机的大视场投影曝光物镜系统,其作用是把投影光刻机掩模版上的图形经过成像复制后转移到硅片上。本发明所涉及的大视场投影曝光物镜系统由20片透镜组成,物镜系统分辨力700nm,放大倍率为‑0.25倍...
杨超胡松朱咸昌刘磊刘锡位浩杰金川韩陈浩磊
一种应用于投影光刻机的单倍率大视场投影曝光物镜
本发明涉及一种应用于投影光刻机的单倍率大视场投影曝光物镜,其作用是把投影光刻机掩模版上的图形经过成像复制后转移到硅片上。投影曝光物镜是光刻机的核心部件,决定了光刻机的主要性能。本发明所涉及的单倍率投影曝光物镜由12片透镜...
杨超朱咸昌唐燕胡松刘锡金川刘磊
用于传感芯片投影光刻机的空间像预测及像质优化方法
本发明公开一种用于传感芯片投影光刻机的空间像预测及像质优化方法,是禁忌搜索‑遗传算法的混合方法。光刻系统空间像成像模型以Abbe成像方法为基础,通过提取掩模有效衍射频谱信息完成空间像强度分布的计算。光源S由四个对称的子区...
刘俊伯孙海峰张清延全海洋杜婧
缩小步进投影光刻机在碲镉汞红外探测器芯片工艺中的应用
2023年
光刻是制备碲镉汞红外探测器芯片过程中非常关键的工艺。目前绝大部分碲镉汞芯片制备都是使用接触式光刻技术,但是在曝光面型起伏较大的芯片时工艺均匀性较差,并且掩膜在与芯片接触时容易损伤芯片。针对接触式光刻的这些缺点,利用尼康公司生产的缩小步进投影光刻机开发了用于碲镉汞芯片的步进式投影曝光工艺。对设备的硬件和软件均进行了小幅修改和设置,使其适用于碲镉汞芯片。经过调试后,缩小步进投影光刻机在某些面型起伏较大的芯片上取得了更好的曝光效果,光刻图形的一致性得到了提升。实验结果表明,缩小步进投影光刻技术能够提高碲镉汞芯片的光刻质量,并在一定程度上改善了芯片制备工艺。
赵成城陈书真雷峥孟晓兰
关键词:碲镉汞红外探测器
硬件同步控制系统及其控制方法、步进扫描投影光刻机
本发明提供了一种硬件同步控制系统,包括上位、同步控制器、信号采集单元、信号控制单元、信号收发单元、信号转换单元;所述同步控制器、信号采集单元以及信号控制单元通过命令总线连接所述上位;所述信号收发单元根据上位提供的光...
陈丹谢仁飚
一种激光干涉投影光刻机
本实用新型公开了一种激光干涉投影光刻机,其技术方案要点是:包括仪器箱,所述仪器箱的一侧开设有光束孔,所述仪器箱的一侧固定安装有激光器,所述激光器的发射端与所述光束孔固定卡接在一起;在使用时可通过开启激光器向光束孔的内部发...
卢金荣
传感芯片投影光刻机匹配方法
本发明公开了一种传感芯片投影光刻机匹配方法。所述方法基于深度学习,利用预先标签的图形数据集通过三元子损失函数训练出能够较好表达图片源域到目标域映射关系的卷积神经网络,同时引入工艺窗口到目标函数中从而保证不会过拟合并在模型...
刘俊伯张清延孙海峰全海洋杜婧
一种用于投影光刻机的透镜系统
本实用新型公开了一种用于投影光刻机的透镜系统,包括在光路上顺序设置的匀光棒、照明透镜组合、反射镜组合及投影透镜组合,匀光棒为设置有中空腔体的条状结构,匀光棒的纵向轴线与照明透镜组合的轴线同轴,反射镜组合包括反射镜、与反射...
周升志王义华

相关作者

胡松
作品数:469被引量:445H指数:8
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
姚汉民
作品数:175被引量:242H指数:8
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻分辨力 投影光刻物镜 原子束 光刻 光子晶体
刘俊伯
作品数:98被引量:21H指数:3
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 数值孔径 投影光刻机 光刻 波像差
赵立新
作品数:228被引量:73H指数:6
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
曾爱军
作品数:228被引量:260H指数:11
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:起偏器 光刻机 移相 测量方法 偏振