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投影光刻机
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科技成果
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时效性降序
时效性升序
相关度排序
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被引量排序
时效性降序
时效性升序
全自动
投影
光刻机
本实用新型属于
光刻机
技术领域,公开了一种全自动
投影
光刻机
,包括
机
架,
机
架上安装有平台,平台上安装有X轴直线电
机
和立柱,X轴直线电
机
上安装有Y轴直线电
机
,Y轴直线电
机
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机
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张其文
扶小莲
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陈正洪
传感芯片
投影
光刻机
匹配方法
本发明公开了一种传感芯片
投影
光刻机
匹配方法。所述方法基于深度学习,利用预先标签的图形数据集通过三元子损失函数训练出能够较好表达图片源域到目标域映射关系的卷积神经网络,同时引入工艺窗口到目标函数中从而保证不会过拟合并在模型...
刘俊伯
张清延
孙海峰
全海洋
杜婧
一种应用于
投影
光刻机
的大视场
投影
曝光物镜系统
本发明涉及一种应用于
投影
光刻机
的大视场
投影
曝光物镜系统,其作用是把
投影
光刻机
掩模版上的图形经过成像复制后转移到硅片上。本发明所涉及的大视场
投影
曝光物镜系统由20片透镜组成,物镜系统分辨力700nm,放大倍率为‑0.25倍...
杨超
胡松
朱咸昌
刘磊
刘锡
位浩杰
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一种应用于
投影
光刻机
的单倍率大视场
投影
曝光物镜
本发明涉及一种应用于
投影
光刻机
的单倍率大视场
投影
曝光物镜,其作用是把
投影
光刻机
掩模版上的图形经过成像复制后转移到硅片上。
投影
曝光物镜是
光刻机
的核心部件,决定了
光刻机
的主要性能。本发明所涉及的单倍率
投影
曝光物镜由12片透镜...
杨超
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唐燕
胡松
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用于传感芯片
投影
光刻机
的空间像预测及像质优化方法
本发明公开一种用于传感芯片
投影
光刻机
的空间像预测及像质优化方法,是禁忌搜索‑遗传算法的混合方法。
光刻
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刘俊伯
孙海峰
张清延
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缩小步进
投影
光刻机
在碲镉汞红外探测器芯片工艺中的应用
2023年
光刻
是制备碲镉汞红外探测器芯片过程中非常关键的工艺。目前绝大部分碲镉汞芯片制备都是使用接触式
光刻
技术,但是在曝光面型起伏较大的芯片时工艺均匀性较差,并且掩膜在与芯片接触时容易损伤芯片。针对接触式
光刻
的这些缺点,利用尼康公司生产的缩小步进
投影
光刻机
开发了用于碲镉汞芯片的步进式
投影
曝光工艺。对设备的硬件和软件均进行了小幅修改和设置,使其适用于碲镉汞芯片。经过调试后,缩小步进
投影
光刻机
在某些面型起伏较大的芯片上取得了更好的曝光效果,
光刻
图形的一致性得到了提升。实验结果表明,缩小步进
投影
光刻
技术能够提高碲镉汞芯片的
光刻
质量,并在一定程度上改善了芯片制备工艺。
赵成城
陈书真
雷峥
孟晓兰
关键词:
碲镉汞
红外探测器
硬件同步控制系统及其控制方法、步进扫描
投影
光刻机
本发明提供了一种硬件同步控制系统,包括上位
机
、同步控制器、信号采集单元、信号控制单元、信号收发单元、信号转换单元;所述同步控制器、信号采集单元以及信号控制单元通过命令总线连接所述上位
机
;所述信号收发单元根据上位
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一种激光干涉
投影
光刻机
本实用新型公开了一种激光干涉
投影
光刻机
,其技术方案要点是:包括仪器箱,所述仪器箱的一侧开设有光束孔,所述仪器箱的一侧固定安装有激光器,所述激光器的发射端与所述光束孔固定卡接在一起;在使用时可通过开启激光器向光束孔的内部发...
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投影
光刻机
的透镜系统
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