搜索到 篇“ 掩模 “的相关文章

相关作者

罗先刚
作品数：652被引量：296H指数：8
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻 超分辨 表面等离子体 掩模 金属
王向朝
作品数：817被引量：1,312H指数：19
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 像差
李艳秋
作品数：429被引量：329H指数：10
供职机构：北京理工大学
研究主题：掩模 极紫外光刻 光刻系统 光源 投影物镜
李思坤
作品数：160被引量：159H指数：9
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：掩模 光刻机 投影物镜 光刻 极紫外光刻
胡松
作品数：466被引量：421H指数：8
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片