搜索到1632篇“ 方块电阻“的相关文章
- 方块电阻测量装置及测量方法
- 本发明公开了方块电阻测量装置及测量方法，属于方块电阻测量技术领域。方块电阻测量装置包括框架、测厚模块及测量模块；测厚模块设于框架内，测厚模块用于检测晶圆和膜层的厚度；测量模块设于框架内，测量模块包括第一载台及探头，第一载...
- 唐秋逸相宇阳俞胜武陈剑
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- 一种金属化薄膜方块电阻测量辅助装置
- 本实用新型公开了一种金属化薄膜方块电阻测量辅助装置，包括主板，所述主板的内表面转动连接有转动组件，所述转动组件的外表面固定连接有支撑柱，所述支撑柱的外表面固定连接有橡胶垫，本实用新型涉及方块电阻技术领域。该装置通过设置下...
- 陈峰 杨建锋
- 一种固定宽度的单位方块电阻建模方法
- 本发明公开了一种固定宽度的单位方块电阻建模方法，所述建模方法根据实际测试数据分析方块数与方块电阻的关系，进而得到具体的电阻模型公式以调节电阻模型，从而得到最终的电阻模型，本发明解决了已有电阻模型无法兼顾小方块数电阻的难题...
- 刘素吉王伟
- 一种精确控制ITO薄膜方块电阻的方法
- 本发明是关于一种精确控制ITO薄膜方块电阻的方法，其包括:控制载流子浓度和迁移率来调控电阻率，在ITO薄膜厚度偏差不变或变大的情况下，实现对ITO薄膜方块电阻的调控。本发明通过控制载流子浓度和迁移率，可以实现对电阻率的调...
- 金扬利陈玮王琪徐博
- 金属硅化物方块电阻的测试结构及其制备方法
- 本发明提供一种金属硅化物方块电阻的测试结构及其制备方法，通过在进行MOS器件相应结构制备所需的第二次离子注入之前，先进行离子掺杂类型相反的第一次离子注入并低温退火，以修复第一次离子注入引起的晶格损伤并将第二次离子注入的掺...
- 吕军军陶然
- 交/直流薄膜方块电阻测试系统设计与分析被引量：2
- 2024年
- 四探针法测量薄膜方块电阻具有测量精度高、稳定性好等优点,被广泛应用于薄膜器件制备、半导体微区掺杂等领域。为了提高薄膜方块电阻的测试速度及精度,以改进的范德堡法原理为基础,采用压控电流源方式输出稳定的电流,利用LabVIEW软件搭建了一套能使用交/直流测量薄膜方块电阻的测试系统。为了验证该测试系统的合理性及测试速度,选取Pt金属薄膜作为被测样品进行方块电阻的测量。测试结果表明,直流法和交流法都能精确测量薄膜方块电阻,直流法和交流法的单次测试时间分别为0378 s和0317 s,系统的测试速度优于商用280SI半导体设备。交流法测试Pt金属薄膜方块电阻的抗干扰能力比直流法强。该系统为被测样品选取合适的测试电流和测试方法提供了参考,对薄膜样品进行变温电阻率连续测量具有重要意义。
- 陈明武王亚林冯金良王尚前刘剑王可
- 关键词：LABVIEW直流方块电阻
- 恒温装置以及半导体薄膜方块电阻测试仪
- 本实用新型公开了一种恒温装置以及半导体薄膜方块电阻测试仪，所述恒温装置包括：喷嘴，其上具有相连通的进气口和出气口；供气管道，与所述进气口相连通；控温机构，设置于所述供气管道外，用于调节所述供气管道内的气体的温度。本实用新...
- 李付锦赵迎春熊敏
- 半导体结构及其制备方法、方块电阻的测量方法
- 本申请涉及一种半导体结构及其制备方法、方块电阻的测量方法，半导体结构包括衬底以及电阻结构，衬底内包括沿第一方向间隔排布的隔离结构，及由隔离结构定义的有源区；电阻结构位于衬底的顶面，电阻结构包括蛇形电阻块及与蛇形电阻块的首...
- 周宁宁陈立业张德培
- 导电薄膜方块电阻多探针测量方法及测量头
- 一种导电薄膜方块电阻多探针测量方法及测量头，涉及薄膜检测技术领域，所解决的是提升边缘测量能力的技术问题。该方法在目标样品上设定5个测量点，其中的4个点按传统四探针法排列成一个直线段P<Sub>14</Sub>，P5设置在...
- 刘相华
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