搜索到684篇“ 液相外延生长“的相关文章
全部数字资源类型
相关度排序
一种用于液相外延生长工艺的夹具
本实用新型公开了一种用于液相外延生长工艺的夹具，包括环形主体骨架，其上方设置有固定支架；所述固定支架通过连接杆与液相外延设备连接，所述夹具还包括至少四条合金柱、衬底支撑模块、遮挡模块与搅拌器模块。本实用新型使搅拌器与衬底...
陈腾波张榕贵李来超高浩然雷云
一种用于液相外延生长晶圆的衬底夹具
本实用新型公开了一种用于液相外延生长晶圆的衬底夹具，包括至少4根支撑柱对称分布在主体骨架上；所述主体骨架为环形部件，其上方设置有固定支架；所述固定支架相连一连接杆，通过所述连接杆与液相外延设备连接；所述支撑柱的中轴延长线...
陈腾波张榕贵李来超高浩然雷云
基于强化学习的卧式液相外延生长设备的恒温区温度补偿方法
本发明公开了一种基于强化学习的卧式液相外延生长设备的恒温区温度补偿方法，包括步骤：S1、获取卧式液相外延生长设备的恒温区内多个测量点的温度数据；S2、获取各温度数据中的最大值、最小值、平均值和标准差；同时将各温度数据与初...
周亚林
减少表面缺陷的水平液相外延石墨舟以及水平液相外延生长方法
本发明涉及一种减少表面缺陷的水平液相外延石墨舟，包括衬底板、母液板和母液盖板，母液板上设有用于容置生长母液的生长母液槽以及用于容置牺牲母液的牺牲母液槽；衬底板上设有衬底槽；母液板与衬底板之间可相对活动，以致衬底槽能够与牺...
黄晟 黄立 张冰洁 彭清琪
能减少表面宏观波纹的水平液相外延石墨舟以及水平液相外延生长方法
本发明涉及一种能减少表面宏观波纹的水平液相外延石墨舟，包括衬底板、母液板和母液盖板，所述母液板上设有母液槽、第一汞源保护槽以及位于母液板正面的第一汞挥发导槽，所述第一汞挥发导槽与所述第一汞源保护槽连通；所述衬底板上设有衬...
黄晟 黄立 张冰洁 彭清琪
一种有机铵盐晶体的液相外延生长方法及有机铵盐晶体
本发明公开了一种可原位观察的有机铵盐晶体的液相外延生长方法：在有机铵盐从其饱和溶液析出的过程中，通过引入云母衬底，利用云母衬底对其表面所生长的有机铵盐晶体的外延诱导作用，我们可以生长得到平面内二维的、具有规则三角形形貌、...
潘雨婷梁涛张津铖薛琪超朱泽宇杨陈楹邵宇川
一种改善磁性石榴石液相外延生长过程中晶片碎裂的方法
一种改善磁性石榴石液相外延生长过程中晶片碎裂的方法，属于光通讯器件技术领域。包括：在非磁性石榴石基片背面依次制备黏附金属层、应力金属层和隔绝金属层；将非磁性石榴石基片正面浸入熔体中，采用液相外延法在非磁性石榴石基片正面生...
杨青慧 俞靖彦 张鼎 张元婧 李涵张怀武
双坩埚液相外延生长装置
本发明提供了一种双坩埚液相外延生长装置，涉及液相外延生长设备技术领域，包括第一炉体、第二炉体、坩埚组件和驱动组件，所述第一炉体与所述第二炉体通过通孔相连；所述坩埚组件包括两个坩埚，两个所述坩埚分别设置于所述第一炉体和所述...
宋波张晗旭朱森寅王先杰韩杰才
一种水平液相外延生长石墨舟
本发明公开了一种水平液相外延生长石墨舟。该水平液相外延生长石墨舟包括底座，设有母液排放槽；衬底放置件，衬底放置件包括放置件本体和衬底夹具，放置件本体设置有夹具安装槽，衬底夹具在竖直方向滑动设置于夹具安装槽，衬底夹具设有用...
请求不公布姓名
一种水平液相外延生长石墨舟
本发明公开了一种水平液相外延生长石墨舟。该水平液相外延生长石墨舟包括底座，设有母液排放槽；衬底放置件，衬底放置件包括放置件本体和衬底夹具，放置件本体设置有夹具安装槽，衬底夹具在竖直方向滑动设置于夹具安装槽，衬底夹具设有用...
请求不公布姓名
加载更多 ∨

相关作者

姚忻
作品数：137被引量：13H指数：2
供职机构：上海交通大学
研究主题：籽晶 REBCO 高温超导 液相外延生长 液相外延
刘宗亮
作品数：42被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题：助熔剂 籽晶 单晶 液相外延生长 助熔剂法
徐科
作品数：295被引量：43H指数：3
供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题：氮化镓 氮化物 单晶 衬底 助熔剂
任国强
作品数：32被引量：3H指数：1
供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题：液相外延生长 液相外延 单晶 助熔剂法 热法
王建峰
作品数：138被引量：26H指数：3
供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题：衬底 氮化镓 氮化物 单晶 GAN