搜索到 篇“ 牺牲层腐蚀 “的相关文章

相关作者

李艳辉
作品数：7被引量：5H指数：2
供职机构：东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室
研究主题：牺牲层腐蚀 计算机仿真 牺牲层 腐蚀速率 差分算法
李伟华
作品数：276被引量：189H指数：7
供职机构：东南大学
研究主题：MEMS 多晶硅 微机电系统 残余应力 绝缘衬底
吴昌聚
作品数：89被引量：65H指数：5
供职机构：浙江大学航空航天学院
研究主题：腐蚀速率 牺牲层腐蚀 牺牲层 星体 扑翼机
马慧莲
作品数：159被引量：254H指数：11
供职机构：浙江大学
研究主题：谐振式光纤陀螺 环形谐振腔 激光器 谐振腔 相位调制器
王跃林
作品数：719被引量：789H指数：14
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 硅片