搜索到 篇“ 硅微机械 “的相关文章

相关作者

张福学
作品数：239被引量：383H指数：10
供职机构：北京信息科技大学传感技术研究中心
研究主题：传感器 微机械 硅微机械陀螺 角速度 陀螺
施芹
作品数：135被引量：153H指数：9
供职机构：南京理工大学
研究主题：单晶硅片 硅微陀螺仪 硅 玻璃衬底 谐振式加速度计
裘安萍
作品数：166被引量：262H指数：11
供职机构：南京理工大学
研究主题：单晶硅片 硅 玻璃衬底 硅微陀螺仪 谐振式加速度计
李宏生
作品数：202被引量：308H指数：9
供职机构：东南大学
研究主题：硅 谐振式加速度计 硅微陀螺仪 陀螺仪 零偏
杨波
作品数：239被引量：262H指数：9
供职机构：东南大学
研究主题：加速度计 硅微陀螺仪 硅 谐振式加速度计 陀螺仪