搜索到342篇“ 硅微机械陀螺仪“的相关文章
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基于硅微机械陀螺仪的驱动方法及装置
本发明提供一种基于硅微机械陀螺仪的驱动方法及装置，涉及陀螺仪技术领域，所述方法包括：生成两路驱动信号；两路驱动信号为频率相等、电压幅值相等以及相位相差90°的无直流偏置的交流电压；频率为谐振频率的一半；将两路驱动信号分别...
付润娟廖兴才于正慧张旭东毛润雨温诗谦
具有音叉式驱动机构的解耦型双质量硅微机械陀螺仪结构
本发明公开了一种具有音叉式驱动机构的解耦型双质量硅微机械陀螺仪结构，用于测量垂直于基座水平的角速率测量仪器，由上层单晶硅、中间层单晶硅、下层单晶硅构成，上层单晶硅为布置有信号输入/出的引线的硅微机械振动陀螺仪封装盖板，中...
裘安萍施芹赵阳夏国明
一种可实现干扰模态隔离的解耦型音叉硅微机械陀螺仪
本实用新型提出了一种可实现干扰模态隔离的解耦型的音叉硅微机械陀螺仪，包括基底、驱动质量块、检测质量块、耦合结构、转动框架、弹簧梁。驱动质量块和检测质量块由弹簧梁支撑悬浮在XY平面内，驱动模态下陀螺左右侧边的驱动质量块带动...
车录锋陈邦亮
一种可实现干扰模态隔离的解耦型音叉硅微机械陀螺仪
本发明提出了一种可实现干扰模态隔离的解耦型的音叉硅微机械陀螺仪，其包括基底、驱动质量块、检测质量块、耦合结构、转动框架、弹簧梁。驱动质量块和检测质量块由弹簧梁支撑悬浮在XY平面内，驱动模态下陀螺左右侧边的驱动质量块带动检...
车录锋陈邦亮
一种硅微机械陀螺仪
本实用新型涉及一种硅微机械陀螺仪，包括硅微机械陀螺仪本体，所述硅微机械陀螺仪本体的外侧固定有定位块，所述定位块的左右两侧设有用于辅助硅微机械陀螺仪本体散热的散热机构，所述散热机构的内部设有用于防止灰尘覆盖硅微机械陀螺仪本...
黄芳冯唐荣欧阳涛余贤
一种硅微机械陀螺仪标度因数在线自校准系统
本发明公开了一种硅微机械陀螺仪标度因数在线自校准系统，其特点在于不需要额外增加静电激励电极，在陀螺仪正常工作情况下，可以实时对标度因数进行自校准。AGC与C/V驱动检测接口电路相连对陀螺仪进行闭环驱动；检测电流信号Is，...
赵阳梁杰裘安萍夏国明施芹
具有音叉式驱动机构的解耦型双质量硅微机械陀螺仪结构
本发明公开了一种具有音叉式驱动机构的解耦型双质量硅微机械陀螺仪结构，用于测量垂直于基座水平的角速率测量仪器，由上层单晶硅、中间层单晶硅、下层单晶硅构成，上层单晶硅为布置有信号输入/出的引线的硅微机械振动陀螺仪封装盖板，中...
裘安萍施芹赵阳夏国明
一种四立柱体状质量块硅微机械陀螺仪
本发明提供一种四立柱体状质量块硅微机械陀螺仪，包括上层质量块结构、中层硅微传感器结构、下层衬底结构，上层质量块结构包括四个圆柱体质量块，所述四个圆柱体质量块分别粘合在硅微传感器结构的四个质量块托盘中心，中层硅微传感器结构...
杨波郭鑫高小勇李成冯雨
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一种用于硅微机械陀螺仪的微小信号拾取电路
本发明公开了一种用于硅微机械陀螺仪的微小信号拾取电路，包括第一结型场效应管，第二结型场效应管，第一电阻，第二电阻，第三电阻，第四电阻，第一电容，第二电容。该电路采用半导体一次集成实现，采用低噪声N型JFET工艺实现了电路...
佟晓娜陈祥发张奇荣权海洋
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硅微机械陀螺仪高过载动态响应研究
近年来，硅微机械陀螺作为MEMS器件的重要组成部分得到飞速发展，伴随其应用环境的日益复杂，器件工作的可靠性问题也日益突出。　　本文以课题组自主研制的抗冲击双质量硅微机械陀螺仪为研究对象，对陀螺仪敏感结构高过载动态响应、工...
邢博文
关键词：硅微机械陀螺仪
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相关作者

曹慧亮
作品数：166被引量：142H指数：8
供职机构：中北大学电子与计算机科学技术学院电子测试技术国家重点实验室
研究主题：谐振子 玻璃基 硅微机械陀螺仪 杯形 振动陀螺
刘俊
作品数：1,567被引量：2,220H指数：17
供职机构：中北大学
研究主题：加速度计 色心 金刚石 微加速度计 加速度传感器
申冲
作品数：160被引量：95H指数：6
供职机构：中北大学
研究主题：偏振光 玻璃基 谐振子 硅微机械陀螺仪 光纤陀螺
李宏生
作品数：212被引量：323H指数：9
供职机构：东南大学
研究主题：硅 谐振式加速度计 硅微陀螺仪 陀螺仪 零偏
石云波
作品数：483被引量：720H指数：13
供职机构：中北大学电子与计算机科学技术学院电子测试技术国家重点实验室
研究主题：加速度计 MEMS 加速度传感器 高过载 谐振子