搜索到1710篇“ 硅波导“的相关文章
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一种基于SOI的长距离硅波导释放加工方法
本发明公开一种基于SOI的长距离硅波导释放加工方法，应用于MOEMS传感器领域，针对现有释放加工技术中存在的HF气体通过硅波导两侧凹槽把下方的SiO<SUB>2</SUB>层也腐蚀掉，硅波导由于没有支撑而发生塌断，从而导...
鲜承伟黄勇军李喆匡鹏举陈鼎威文光俊
一种硅波导与氮化硅波导模式转化结构
本发明公开了一种硅波导与氮化硅波导模式转化结构，属于光学器件技术领域，包括上下间距分布的硅波导和氮化硅波导；硅波导包括顺次连接的单模硅波导和硅绝热变化波导，硅绝热变化波导宽度逐渐减小；氮化硅波导包括顺次连接的氮化硅绝热变...
沈笑寒王根成徐俊
一种硅波导端面耦合器和半导体器件
本公开提供了一种硅波导端面耦合器，包括：衬底；倒锥结构，设置于衬底的上表面的一端，倒锥结构的侧壁为抛物线形；两个侧锥结构，设置于衬底的上表面，两个侧锥结构关于倒锥结构的对称轴对称分布；矩形波导结构，设置于衬底的上表面，且...
郭丹丹王欣杨国亮翟鲲鹏祝宁华李明
一种可实现宽带硅波导四波混频增强的方法
本发明公开了一种可实现宽带硅波导四波混频增强的方法，其特征在于，在绝缘衬底上的硅的顶层硅波导上设置按照亚波长周期排列的亚波长纳米孔结构。其优点在于：结构简单，易于实现，在SOI的顶层硅波导上设置按照亚波长周期排列的亚波长...
杨玉星薛鹏飞张明瑞韩毅孟谦
一种硅波导中利用相位控制OAM模式生成的方法
本发明提供了一种在硅波导中利用相位控制OAM模式生成的方法，属于硅基光波导技术领域。基于集成的硅平台，基模TE<Sub>00</Sub>从未刻槽的波导输入，与刻槽波导满足模式匹配后发生耦合，因为刻槽的存在TE<Sub>0...
赵东柯少林刘洋
一种基于硅波导实现偏振涡旋切伦科夫辐射的方法
本发明属于电磁学技术领域，具体涉及一种基于硅波导实现偏振涡旋切伦科夫辐射的方法，包括以下步骤：S1：将实现偏振涡旋切伦科夫辐射设置为圆柱形波导，搭配两支高速运动的电子束的结构；S2：调控电子束的相位参数，构建π/2的相位...
李汶佳王业涵徐文霞彭俊天唐华伟关春颖刘建龙史金辉
基于多层聚合物结构的硅波导模斑转换器及其制备方法
本发明公开了一种基于多层聚合物结构的硅波导模斑转换器及其制备方法，应用于硅纳米线光波导与普通单模光纤的耦合。其结构采用集成光电子工艺方法制作，在绝缘体层上硅基底上，制作锥型硅波导，再利用光刻技术，在绝缘体层上，连续套刻三...
秦子翔彭超张仙刘洋温雪沁刘柳陈伟
一种高精度硅波导集成光子晶体腔的光力式微加速度计
本申请提供一种高精度硅波导集成光子晶体腔的光力式微加速度计，包括：硅微机械振子结构、光子晶体微腔结构和硅波导结构；所述光子晶体微腔结构包括：结构相同的第一光子晶体微腔结构和第二光子晶体微腔结构；所述第一光子晶体微腔结构包...
鲜承伟匡鹏举黄勇军张森宇陈鼎威李喆文光俊
基于微机械硅波导空间一体化集成的太赫兹微纳系统及其制造方法
本发明提供了一种基于微机械硅波导空间一体化集成的太赫兹微纳系统及其制造方法，所述微机械硅波导空间一体化集成的太赫兹微纳系统包括：自下而上设置的第一层硅衬底、第二层硅衬底、第三层硅衬底、第四层硅衬底、第五层硅衬底；射频芯片...
侯芳孙超栾华凯曹扬磊黄旼郁元卫朱健
基于硅波导主流法监测人体呼出水蒸气和二氧化碳气体的传感器
本发明公开了一种基于硅波导主流法监测人体呼出水蒸气和二氧化碳气体的传感器，环形谐振腔利用多个耦合区域形成多个支路使得光分别耦合进入三个马赫‑曾德干涉仪实现多参量探测；马赫‑曾德干涉仪传感臂的温度、待测样本折射率发生变化时...
王雪宋玉霞李明宇
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陈建平
作品数：808被引量：668H指数：14
供职机构：上海交通大学
研究主题：光纤 微波光子 光纤链路 光学频率 光开关
郑婉华
作品数：379被引量：137H指数：6
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：光子晶体 半导体激光器 激光器 光子晶体激光器 波导
王海玲
作品数：50被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：硅波导 发散角 波导 边发射 光子晶体
杨建义
作品数：517被引量：490H指数：11
供职机构：浙江大学
研究主题：波导 集成光学 光开关 多模干涉 玻璃基
周林杰
作品数：141被引量：18H指数：2
供职机构：上海交通大学
研究主题：硅基 波导 微波光子 芯片 光开关