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碳化硅薄膜
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相关度排序
被引量排序
时效性降序
时效性升序
相关度排序
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时效性升序
一种激光辅助制备
碳化硅
薄膜
的方法
一种激光辅助制备
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的方法,包括:步骤S1:提供基材,通入原料气体,使用紫外激光束对基材表面进行扫描,使原料气体在扫描路径上沉积形成特定晶型的
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碳化硅
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碳化硅
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薄膜
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薄膜
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成型装置及其
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的制备工艺
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的制备工艺,包括:S1、生物模板准备,S2、表面修饰,S3、溶液制备,S4、生物模板浸渍,S5、
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的装置及方法
一种在石墨材料表面制备
碳化硅
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的装置及方法,属于表面改性技术领域,解决石墨坩埚使用过程中表面脱落的技术问题,解决方案为:本装置包括真空室、方波脉冲电源、加热电路和加热电源,方波脉冲电源与磁控靶头电性连接,靶材安装在磁控...
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碳化硅
薄膜
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本发明涉及
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薄膜
领域,具体涉及一种
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一种硅基
碳化硅
薄膜
材料制备方法
本发明涉及信息功能材料制备领域,特别涉及一种硅基
碳化硅
薄膜
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碳化硅
晶圆;...
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少子寿命的方法
本发明涉及
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领域,公开了一种提高
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薄膜
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薄膜
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薄膜
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