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离子束刻蚀
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相关度排序
被引量排序
时效性降序
时效性升序
相关度排序
相关度排序
被引量排序
时效性降序
时效性升序
离子束
刻蚀
被引量:16
1999年
介绍了几种常用的干法
刻蚀
技术的机理,重点介绍了
离子束
刻蚀
的基本原理,给出了55种不同材料在500eV能量1mA/cm2
束
流密度条件下的
刻蚀
速率,并给出了
刻蚀
速率随
束
流能量和
束
流密度增加而增加的试验结果和实际图形
刻蚀
的扫描电镜分析结果,对有关问题进行了讨论。
赵丽华
周名辉
王书明
李锦标
霍彩虹
周晓黎
关键词:
离子束刻蚀
干法刻蚀
半导体器件
离子束
刻蚀
方法
本发明公开的
离子束
刻蚀
方法包括:提供
离子束
刻蚀
机,所述
离子束
刻蚀
机包括用于提供
离子束
的
离子
源以及用于支撑半导体材料的支撑台;将半导体材料定位于所述支撑台上;以及控制所述
离子束
以0‑45°的入射角度对所述半导体材料进行
刻蚀
...
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离子束
刻蚀
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离子束
刻蚀
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刻蚀
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离子束
刻蚀
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离子束
刻蚀
系统,
离子束
刻蚀
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离子束
刻蚀
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离子束
刻蚀
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离子束
刻蚀
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离子束
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离子束
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离子束
刻蚀
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离子束
刻蚀
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离子束
刻蚀
,实现了膜层过厚误差的修正,使膜厚监控信号退回到误差发生前,实现了误差的修正,降低了产品的报废率,提高了监控的成品率,降低了滤...
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一种用于超导器件超低温
离子束
刻蚀
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刻蚀
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离子束
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一种
离子束
刻蚀
设备防基片夹具碎片装置及其使用方法
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离子束
刻蚀
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一种
离子束
刻蚀
控制系统
本发明涉及
离子束
刻蚀
技术领域,具体涉及一种
离子束
刻蚀
控制系统。该
离子束
刻蚀
控制系统包括安全检测模块、PLC控制模块、安全输入模块、安全控制模块、安全输出模块、
离子
源电源以及中和器电源,其中,安全检测模块用于检测
离子束
刻蚀
...
张海飞
李正磊
陈勇
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