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张苗
作品数:301被引量:35H指数:4
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:石墨烯 绝缘体 衬底 离子注入 弛豫
狄增峰
作品数:246被引量:21H指数:2
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:石墨烯 绝缘体 衬底 锗 离子注入
王刚
作品数:73被引量:1H指数:1
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:石墨烯 绝缘体 键合 离子注入 单晶薄膜
陈达
作品数:98被引量:5H指数:1
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:弛豫 衬底 离子注入 绝缘体 单晶薄膜
廖斌
作品数:225被引量:140H指数:6
供职机构:北京师范大学
研究主题:钉扎 金属 类金刚石 离子源 涂层