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等离子体反应器
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排序方式:
相关度排序
被引量排序
时效性降序
时效性升序
相关度排序
相关度排序
被引量排序
时效性降序
时效性升序
等离子体
反应器
本发明涉及
等离子体
反应器
技术领域,且公开了
等离子体
反应器
,包括罐
体
顶部中心位置设置有玻璃管,所述玻璃管内部中心位置设置有铂丝,所述铂丝顶部设置有正电极,所述玻璃管外侧两端固定安装有金属管,所述金属管内部中心位置设置有催化...
曾郴林
等离子体
反应器
等离子体
反应器
包括
反应
室和连接到
反应
室的入口头。入口头包括连接到
反应
室的开口端,位于与开口端相对的
等离子体
入口,从开口端向
等离子体
入口逐渐变小的内表面,和各自位于
等离子体
入口和开口端之间的第一和第二气
体
入口。
等离子
炬通过...
G.P.奈特
A.钱伯斯
等离子体
反应器
一种
等离子体
反应器
,它至少包括一框式安装支架,在该安装支架上安装有多个由正负电极构成的基本放电单元,所述的基本放电单元包括至少一块电极板作为放电负极,在该电极板的至少一侧平置有至少一条用钛板条制成的钛齿条或钛针条作为放电...
罗炳灿
等离子体
反应器
本实用新型涉及半导
体
领域,尤其涉及一种
等离子体
反应器
。这种
等离子体
反应器
,包括:上部电极、下部电极和电源,所述下部电极和所述电源连接,所述上部电极与所述下部电极之间形成
等离子体
反应
腔室,所述上部电极是中部外凸的曲面
体
。本...
张海洋
王新鹏
等离子体
反应器
本发明涉及一种使用
离子
体
反应器
的NO<Sub>X</Sub>去除装置以去除柴油发动机中产生的污染物NO<Sub>X</Sub>,该装置在使用吸留催化剂的已有装置中通过吸留催化剂进行的NO<Sub>X</Sub>还原过程中...
李大勋
金冠泰
宋永焄
车旻锡
李载玉
金释俊
等离子体
反应器
本实用新型公开了一种
等离子体
反应器
,包括:用于承载晶圆的第一卡盘、第一介电窗口、感应线圈、第一电源和第二电源,所述第一介电窗口位于所述第一卡盘的上方并与所述第一卡盘形成第一
反应
腔室,所述感应线圈位于所述第一介电窗口之上,...
张海洋
王新鹏
等离子体
反应器
本发明涉及
等离子体
反应器
,其包括真空容
器
,到所述真空容
器
的进气口装置,在所述真空容
器
中产生
等离子体
的
等离子体
装置,所述真空容
器
内的基底保持
器
以及排气装置,所述排气装置邻近所述真空容
器
的壁用于使气
体
从所述真空容
器
除去,并且...
A·萨拉巴斯
A·A·H·塔哈
D·乔达里
M·克林德沃特
C·埃勒特
等离子体
反应器
本发明涉及一种使用
离子
体
反应器
的NO<Sub>X</Sub>去除装置以去除柴油发动机中产生的污染物NO<Sub>X</Sub>,该装置在使用吸留催化剂的已有装置中通过吸留催化剂进行的NO<Sub>X</Sub>还原过程中...
李大勋
金冠泰
宋永焄
车旻锡
李载玉
金释俊
等离子体
反应器
一种
等离子体
反应器
(10),其包括具有气
体
入口(18)和气
体
出口(20)的微波共振腔(12),用于将微波辐射传送到共振腔的波导(14),和用于将包含
离子
的
等离子体
物流注入到共振腔的
等离子体
炬(40),所述
离子
用于与从气
体
...
A·J·西利
M·拉多伊乌
等离子体
反应器
等离子体
反应器
包括
反应
室和连接到
反应
室的入口头。入口头包括连接到
反应
室的开口端,位于与开口端相对的
等离子体
入口,从开口端向
等离子体
入口逐渐变小的内表面,和各自位于
等离子体
入口和开口端之间的第一和第二气
体
入口。
等离子
炬通过...
G·P·奈特
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