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等离子体反应器
本发明涉及等离子体反应器技术领域,且公开了等离子体反应器,包括罐顶部中心位置设置有玻璃管,所述玻璃管内部中心位置设置有铂丝,所述铂丝顶部设置有正电极,所述玻璃管外侧两端固定安装有金属管,所述金属管内部中心位置设置有催化...
曾郴林
等离子体反应器
等离子体反应器包括反应室和连接到反应室的入口头。入口头包括连接到反应室的开口端,位于与开口端相对的等离子体入口,从开口端向等离子体入口逐渐变小的内表面,和各自位于等离子体入口和开口端之间的第一和第二气入口。等离子炬通过...
G.P.奈特A.钱伯斯
等离子体反应器
一种等离子体反应器,它至少包括一框式安装支架,在该安装支架上安装有多个由正负电极构成的基本放电单元,所述的基本放电单元包括至少一块电极板作为放电负极,在该电极板的至少一侧平置有至少一条用钛板条制成的钛齿条或钛针条作为放电...
罗炳灿
等离子体反应器
本实用新型涉及半导领域,尤其涉及一种等离子体反应器。这种等离子体反应器,包括:上部电极、下部电极和电源,所述下部电极和所述电源连接,所述上部电极与所述下部电极之间形成等离子体反应腔室,所述上部电极是中部外凸的曲面。本...
张海洋王新鹏
等离子体反应器
本发明涉及一种使用离子反应器的NO<Sub>X</Sub>去除装置以去除柴油发动机中产生的污染物NO<Sub>X</Sub>,该装置在使用吸留催化剂的已有装置中通过吸留催化剂进行的NO<Sub>X</Sub>还原过程中...
李大勋金冠泰宋永焄车旻锡李载玉金释俊
等离子体反应器
本实用新型公开了一种等离子体反应器,包括:用于承载晶圆的第一卡盘、第一介电窗口、感应线圈、第一电源和第二电源,所述第一介电窗口位于所述第一卡盘的上方并与所述第一卡盘形成第一反应腔室,所述感应线圈位于所述第一介电窗口之上,...
张海洋王新鹏
等离子体反应器
本发明涉及等离子体反应器,其包括真空容,到所述真空容的进气口装置,在所述真空容中产生等离子体等离子体装置,所述真空容内的基底保持以及排气装置,所述排气装置邻近所述真空容的壁用于使气从所述真空容除去,并且...
A·萨拉巴斯A·A·H·塔哈D·乔达里M·克林德沃特C·埃勒特
等离子体反应器
本发明涉及一种使用离子反应器的NO<Sub>X</Sub>去除装置以去除柴油发动机中产生的污染物NO<Sub>X</Sub>,该装置在使用吸留催化剂的已有装置中通过吸留催化剂进行的NO<Sub>X</Sub>还原过程中...
李大勋金冠泰宋永焄车旻锡李载玉金释俊
等离子体反应器
一种等离子体反应器(10),其包括具有气入口(18)和气出口(20)的微波共振腔(12),用于将微波辐射传送到共振腔的波导(14),和用于将包含离子等离子体物流注入到共振腔的等离子体炬(40),所述离子用于与从气...
A·J·西利M·拉多伊乌
等离子体反应器
等离子体反应器包括反应室和连接到反应室的入口头。入口头包括连接到反应室的开口端,位于与开口端相对的等离子体入口,从开口端向等离子体入口逐渐变小的内表面,和各自位于等离子体入口和开口端之间的第一和第二气入口。等离子炬通过...
G·P·奈特A·钱伯斯

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严建华
作品数:1,433被引量:5,041H指数:34
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岑可法
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供职机构:浙江大学
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赵钟兴
作品数:366被引量:286H指数:9
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