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有效去带电粒子污染的腔镜保护装置、激光器及控制方法: 本发明公开了一种有效去带电粒子污染的腔镜保护装置、激光器及控制方法，所述的一种有效去带电粒子污染的腔镜保护装置，包括两个平行同轴设置且中心分别形成有中心孔的端面挡板，两个上下相对设置且与所述的端面挡板内侧固定连接的外侧板...; 高鹏刘海勇岳鹏张巍舰

一种防止粒子污染的晶圆吸附头: 本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体涉及一种防止粒子污染的晶圆吸附头，包括缓冲腔室、负压头、吸附孔，负压头为圆管形，负压头侧联通缓冲腔室的底面，吸附孔设置在缓冲腔室的顶面上，应用时，晶圆设置在缓冲腔室的顶面上，晶圆覆盖吸...; 许建强韩世飞吴忧

基于毛细管光纤的水中重金属粒子污染检测装置和制作方法: 本发明属于光纤传感技术领域，具体涉及一种基于毛细管光纤的水中重金属粒子污染检测装置和制作方法，包括：光源模块、导入光纤、毛细管光纤、检测容器、导出光纤以及光信号检测模块；光源模块与导入光纤的一端连接，导入光纤的另一端插入...; 张帆巩小雪李斌张旭郭鹏星郭磊

爱因斯坦探针后随X射线聚焦镜的粒子污染仿真: 2023年; X射线聚焦镜是一种对粒子污染物颗粒极其敏感的设备,通常依靠控制地面各流程的污染物积累来限制其影响.本文根据粒子污染物的特点,结合Mie散射理论构建了聚焦镜片上的粒子污染颗粒物与入射X射线光子的相互作用模型.在此基础上,结合蒙特卡罗法进行光线追迹工作,构建出爱因斯坦探针后随X射线聚焦镜的粒子污染仿真程序.通过仿真计算得到入射X射线光子与粒子污染物相互作用时的反应截面与散射角分布函数.这两个量与粒子污染物的尺度相关联,本文将聚焦镜片样本上粒子污染颗粒尺度分布的测量结果进行拟合,得到粒子污染尺度分布.根据上述结果进行仿真计算,得到粒子污染物密度与聚焦镜的有效面积和角分辨的关系,并使用防污染监测数据和爱因斯坦探针后随X射线聚焦镜性能测试数据验证了仿真结果的可靠性.对爱因斯坦探针后随X射线聚焦镜粒子污染的仿真实现了对粒子污染物影响的定量分析,明确了粒子污染物对聚焦镜各方面性能的具体影响,为防污染工作提供了理论支持.; 吕中华杨彦佶祝宇轩赵晓帆杨雄涛陈勇; 关键词：粒子污染

增强现实（AR）辅助式粒子污染检测: 一种增强现实(AR)头戴装置，包括：一个或更多个传感器；和处理器，所述处理器被连接至所述一个或更多个传感器。所述一个或更多个传感器可以被配置成在检查期间扫描对象的表面。所述处理器可以被配置成在所述检查期间实时地处理使用所...; M·R·特达席尔瓦T·C·温兰特

测试表面粒子污染的粒子测试系统、采样条、投射曝光设备和方法: 本发明涉及用于测试表面(2)上的粒子污染的粒子测试系统(1)，包括用于接收粒子(5)的采样带(7)和采样装置(3)。采样装置(3)包括辊体(9)，该辊体(9)设置成在辊体的外表面(10)上引导采样带(7)。采样装置(3)...; M.席林M.鲁斯M.纳格尔

光学表面粒子污染物散射的单层薄膜调控特性被引量：3: 2021年; 为了降低超精密低损耗光学元件表面粒子污染物的光散射损耗,文中提出通过在光学表面沉积单层薄膜来调控表面场强分布,从而降低散射损耗的方法。理论分析了K9玻璃超光滑光学表面不同厚度单层二氧化硅(SiO_(2))和单层二氧化钛(TiO_(2))薄膜表面上方半径为100 nm粒子污染物所在处的电场强度,理论分析结果发现,当SiO_(2)薄膜厚度为137.4 nm,TiO_(2)薄膜厚度为12.3 nm时,表面粒子污染物所在处的电场强度最小。在此基础上分别计算了光学元件表面沉积厚度为137.4 nm的单层SiO_(2)薄膜以及厚度为12.3 nm的单层TiO_(2)薄膜,表面粒子污染物的总散射损耗(S)和双向反射分布函数(BRDF),计算结果表明,在波长为632.8 nm的光垂直入射时,单层SiO_(2)薄膜和单层TiO_(2)薄膜可有效降低其表面粒子的BRDF,且可将K9玻璃表面的总散射分别降低12.40%和25.04%。实验验证了单层SiO_(2)薄膜对于表面粒子污染物散射降低的有效性。; 杨伟荣潘永强郑志奇; 关键词：光学薄膜光散射

有效去带电粒子污染的腔镜保护装置、激光器: 本实用新型公开了一种有效去带电粒子污染的腔镜保护装置、激光器，所述的一种有效去带电粒子污染的腔镜保护装置，包括两个平行同轴设置且中心分别形成有中心孔的端面挡板，两个上下相对设置且与所述的端面挡板内侧固定连接的外侧板，两个...; 高鹏刘海勇岳鹏张巍舰; 文献传递

有效去带电粒子污染的腔镜保护装置、激光器及控制方法: 本发明公开了一种有效去带电粒子污染的腔镜保护装置、激光器及控制方法，所述的一种有效去带电粒子污染的腔镜保护装置，包括两个平行同轴设置且中心分别形成有中心孔的端面挡板，两个上下相对设置且与所述的端面挡板内侧固定连接的外侧板...; 高鹏刘海勇岳鹏张巍舰; 文献传递

大气中二次细粒子污染的宏观机制及其前体物环境容量被引量：7: 2019年; 文章建立了大气化学动力学方程组,用来描述在大气自净过程中前体物产生二次细粒子污染的宏观机制.该方程组的动、静态解式可用于计算前体物和二次细粒子浓度比值与大气物理清除力、化学反应速率以及与污染区域尺度之间的定量关系.其动态解给出了按有关大气污染物局地浓度和气象监测数据计算实际大气中还原性污染物的氧化反应总体速率常数的理论公式.静态解给出的二次细粒子浓度与其前体物排放率及大气自净能力的函数关系可用于确定前体物的大气环境容量.作为范例,在给定二次细粒子浓度参照限值为100μmol m^-3时,利用中国378个气象站40年的逐时记录和当前所采集到的前体物的总体氧化反应速率的时、空分布序列,按上述函数求得了集总前体物大气环境容量为24890×10^10mol a^-1.在给定细粒子年均浓度限值为35μg m^-3,硫酸盐、硝酸盐各占细粒子总量的30%和20%的比例限制下,SO2、NOx、NH3容量分别为1255、1344和832(10^10g a^-1).同时也给出了各地区在上述条件下,不同重现期的前体物清除率密度分布图.; 徐大海陈军明; 关键词：前体物大气环境容量重现期

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