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一种用于蓝宝石衬底的清洗装置: 本实用新型公开了一种用于蓝宝石衬底的清洗装置，包括清洗篮、清洗箱和底座，清洗箱固定底座上，清洗箱内设有清洗篮，清洗篮与清洗箱活动连接，清洗篮内壁四周设有若干均为分布的滤水孔，清洗篮顶端设有横板，底座上设有电动推杆，电动推...; 王检文钟后芳吴琼琼崔思远文国昇金从龙

晶体炉及蓝宝石衬底生产系统: 本公开提供一种晶体炉及蓝宝石衬底生产系统。晶体炉包括炉体本体、保温屏组件、支撑件和护套；所述保温屏组件设置于所述炉体本体内的底壁上；所述支撑件于所述炉体本体内沿所述炉体本体的高度方向穿设在所述保温屏组件内，所述支撑件的第...; 徐峰翟虎孙金梅

一种蓝宝石衬底紫外去胶装置: 本实用新型涉及去胶装置技术领域，尤其涉及一种蓝宝石衬底紫外去胶装置。其技术方案包括：包括机箱外壳，所述机箱外壳内开设有加工腔，所述机箱外壳前侧且位于加工腔外围固定有控制器，所述加工腔内通过隔板分隔成放料腔、显影腔、冲刷腔...; 欧金亮林颀卢文瑞许南发邱明力

蓝宝石衬底双面高效抛光装置及其抛光方法: 本发明公开了蓝宝石衬底双面高效抛光装置及其抛光方法，涉及衬底抛光技术领域，为解决现有的蓝宝石衬底抛光多数都是单面的，进行另一面抛光需要取下重新安装，费时费力，并且整体结构大，灵活性差，打磨效率低的问题。所述底座的上端设置...; 郑东肖迪贾松松王鑫

用于蓝宝石衬底晶片的清洗效果评估方法及系统: 本发明涉及晶片清洗分析技术领域，尤其涉及用于蓝宝石衬底晶片的清洗效果评估方法及系统，本发明通过获取金属残留数据对蓝宝石衬底晶片的金属残留清洗效果进行分析；同时获取污渍残留数据对蓝宝石衬底晶片的污渍残留清洗效果进行分析；根...; 肖燕青肖迪戴磊贾松松许宗成

一种基于蓝宝石衬底的外延片及生长方法: 本发明涉及外延片技术领域，公开了一种基于蓝宝石衬底的外延片及生长方法，外延片的蓝宝石衬底的顶面上从下往上依次设有AlN薄膜层、AlN生长层、AlGaN缓冲层、GaN缓冲层、GaN沟道层、AlN间隔层、AlGaN势垒层和G...; 祝庆冯文军

不同晶面蓝宝石衬底上α-Ga_(2)O_(3)雾化学气相沉积法生长研究: 2025年; 采用雾化学气相沉积(Mist-CVD)法在不同晶面蓝宝石衬底上异质外延生长了α-Ga_(2)O_(3)薄膜,并利用XRD、SEM和紫外-可见分光光度计(UV-Vis)分析了薄膜样品的物相、光学特性和表面形貌。600℃以内,在C、M、A、R面蓝宝石衬底上生长纯相α-Ga_(2)O_(3)薄膜的温度窗口分别为420~480、480~550、590~600、540~600℃;对应纯相α-Ga_(2)O_(3)薄膜的光学带隙分别为5.12、5.23、5.25、5.21 eV。研究发现与C面蓝宝石衬底相比,在M、A、R面蓝宝石衬底上外延α-Ga_(2)O_(3)薄膜需要更高的生长温度,同时在M、A、R面蓝宝石衬底上获得的薄膜禁带宽度更大。样品表面形貌的SEM表征结果显示,不同晶面的α-Ga_(2)O_(3)薄膜表面形貌差异显著,C面蓝宝石衬底上α-Ga_(2)O_(3)薄膜存在“连续薄膜+大尺寸柱状岛”结构。本文关于不同晶面蓝宝石衬底外延α-Ga_(2)O_(3)薄膜的研究对α-Ga_(2)O_(3)材料的应用有一定参考价值。; 李雄杰宁平凡陈世澳乔思博程红娟王英民牛萍娟; 关键词：蓝宝石衬底生长温度禁带宽度

Ar离子注入蓝宝石衬底诱导成核的高质量GaN外延: 2025年; 氮化镓(Ga N)薄膜通常是在异质衬底上获得的,然而异质外延引入的高密度位错限制了其在高性能电子器件和光电器件中的发展。本研究采用Ar离子预处理蓝宝石衬底来实现诱导成核,显著降低了Ga N外延层中的位错密度。优化Ar离子的注入剂量发现,当剂量为1×10^(11)cm^(-2)时,螺位错密度为5.26×10^(7)cm^(-2),刃位错密度为1.95×10^(8)cm^(-2),总位错密度比传统蓝宝石衬底上生长的Ga N降低了65%。光致发光(Photoluminescence,PL)测试结果表明,经过诱导成核的Ga N外延层的光学性能有所提高,与未注入的样品相比,PL强度最高提升了152%。本研究提出的Ar离子诱导成核技术是一种工艺简单、效果显著的方法,可以提高异质外延GaN层晶体质量,对实现高效率GaN基发光二极管(Light Emitting Diode,LED)和高性能电子器件具有重要意义。; 安瑕许晟瑞陶鸿昌苏华科杨赫许钪谢磊贾敬宇张进成郝跃; 关键词：GAN 离子注入

一种蓝宝石衬底加工用树脂研磨轮及其制备方法: 本发明公开了一种蓝宝石衬底加工用树脂研磨轮及其制备方法，包括轮体和磨料；所述轮体设有多个T型卡槽；所述磨料的部分嵌于卡槽内；所述磨料为金属结合剂磨料，所述轮体采用高密度铝合金或者胶木加工而成。本发明可以有效降低加工应力，...; 冉隆光陈昱贾楠毛金锐黎梅李斌

纳米图形化蓝宝石衬底及其制备方法和应用: 本发明公开了一种纳米图形化蓝宝石衬底及其制备方法和应用。所述制备方法包括：对蓝宝石衬底的表面进行加工处理以形成多个缺陷；于温度为1000℃以上的条件下对所述蓝宝石衬底进行高温退火处理，使所述蓝宝石衬底表面形成纳米图形。本...; 徐厚强蒋洁安郭炜叶继春张耀华柯强

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