搜索到1463篇“ 薄膜体声波谐振器“的相关文章
全部数字资源类型
相关度排序
薄膜体声波谐振器
本发明提供了一种薄膜体声波谐振器，该谐振器包括衬底、设置于衬底一侧的声学反射结构、叠设在声学反射结构远离衬底的一侧的底电极、叠设在底电极远离声学反射结构的一侧的压电薄膜、叠设在压电薄膜的远离底电极一侧的顶电极以及设置于顶...
杨帅张章吴珂张丽蓉庄智强王超
薄膜体声波谐振器
本发明提供了一种薄膜体声波谐振器，包括第一电极、定位于所述第一电极上方的第二电极及在所述第一电极与所述第二电极之间的压电薄膜，设于所述第一电极下方的衬底和声反射结构、设于所述第二电极上方的刻蚀停止层和设于所述刻蚀停止层上...
窦韶旭吴珂韩琦王超庄玉召程诗阳张丽蓉杨帅
薄膜体声波谐振器
本实用新型提供一种薄膜体声波谐振器，包括：衬底、阻挡层、基底层、诱导层、第一电极层、压电层、第二电极层、空气隙；所述阻挡层形成于衬底的一个表面，衬底的该表面设有下凹腔；基底层设置在衬底的所述一个表面，基底层下的衬底下凹腔...
欧文
薄膜体声波谐振器
本发明提供一种薄膜体声波谐振器，包括：衬底、阻挡层、基底层、诱导层、第一电极层、压电层、第二电极层、空气隙；所述阻挡层形成于衬底的一个表面，衬底的该表面设有下凹腔；基底层设置在衬底的所述一个表面，基底层下的衬底下凹腔形成...
欧文
薄膜体声波谐振器
本发明提供了一种薄膜体声波谐振器，包括第一电极、定位于所述第一电极上方的第二电极及在所述第一电极与所述第二电极之间的压电薄膜，设于所述第一电极下方的衬底和声反射结构、设于所述第二电极上方的刻蚀停止层和设于所述刻蚀停止层上...
窦韶旭吴珂韩琦王超庄玉召程诗阳张丽蓉杨帅
薄膜体声波谐振器
本实用新型提供一种薄膜体声波谐振器，包括：SOI硅片，所述SOI硅片包括硅衬底以及依次设置在硅衬底上的埋氧层和硅结构层；二氧化硅墙结构，设置在所述硅结构层上；二氧化硅钝化层，所述二氧化硅钝化层设置在所述硅结构层背离所述硅...
张树民王国浩汪泉
薄膜体声波谐振器
本实用新型提供一种薄膜体声波谐振器，包括：基板，硅结构层，至少一组纵向布拉格反射栅，压电堆叠结构以及至少一组横向反射栅。其中，各组纵向布拉格反射栅沿基板的厚度方向依次层叠设置在基板承载面上，纵向布拉格反射栅沿长度方向一端...
张树民王国浩汪泉陈海龙郑根林其他发明人请求不公开姓名
薄膜体声波谐振器
本发明提供了一种薄膜体声波谐振器，包括：基底，该基底具有腔体结构；下电极层，该下电极层形成在所述基底之上并遮盖至少部分所述腔体结构；所述腔体结构与所述下电极层共同组成空腔；压电层，该压电层形成在所述下电极层之上；上电极层...
胡念楚杨清华周冲
薄膜体声波谐振器
本发明提供了一种薄膜体声波谐振器，包括：基底，该基底具有腔体结构；下电极层，该下电极层形成在所述基底之上并遮盖至少部分所述腔体结构；所述腔体结构与所述下电极层共同组成空腔；压电层，该压电层形成在所述下电极层之上；上电极层...
胡念楚杨清华周冲
薄膜体声波谐振器
本发明提供了薄膜体声波谐振器和滤波器。该薄膜体声波谐振器包括：下电极，其形成在基板的空腔上或以在该下电极和所述基板之间形成空腔的方式形成；压电薄膜，其形成在所述下电极上；上电极，其形成在所述压电薄膜上以获得隔着所述压电薄...
原基扬 西原时弘 上田政则 远藤刚
加载更多 ∨

相关作者

李丽
作品数：122被引量：49H指数：4
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：滤波器 谐振器 薄膜体声波谐振器 滤波器技术 腔体
高杨
作品数：330被引量：569H指数：12
供职机构：西南科技大学
研究主题：微电子机械系统 薄膜体声波谐振器 体声波 MEMS FBAR
李亮
作品数：154被引量：40H指数：5
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：谐振器 滤波器 腔体 衬底 滤波器技术
李宏军
作品数：138被引量：61H指数：5
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：滤波器 滤波器技术 谐振器 薄膜体声波谐振器 接地端子
梁东升
作品数：88被引量：4H指数：2
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：谐振器 滤波器 腔体 衬底 薄膜体声波谐振器