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半导体器件表面薄膜折射率的测量方法
本发明涉及一种测量方法，尤其是一种半导体器件表面薄膜折射率的测量方法。按照本发明提供的技术方案，一种半导体器件表面薄膜折射率的测量方法，所述测量方法包括如下步骤：步骤1、利用膜厚仪测量得到待测量薄膜厚度h1，其中，所述膜...
彭时秋陈全胜王涛肖步文
一种测定薄膜折射率的分振幅干涉仪
一种测定薄膜折射率的分振幅干涉仪。其包括底盘、半导体激光光源、光衰减器、光衰减器支架、第一分光板底座、第一分光板、第一一维移动台、第一反射镜、刻度盘、带指针旋转台、样品架、第二一维移动台、第二反射镜、第二分光板底座、第二...
秦哲赫哲李雨航董龙甲张航桦
一种通过磷掺杂调控非晶硅薄膜折射率及电导率的方法
本发明公开了一种通过磷掺杂调控非晶硅薄膜折射率及电导率的方法，属于及光伏电池关键原件生产技术领域，具体为，步骤1.提供一基底，进行表面处理和清洗；步骤2.在特定温度和功率条件下，进行磷掺杂非晶硅薄膜的沉积；步骤3.通过精...
徐丹张剑
基于面内光子自旋霍尔效应的偏振态调制型纳米级薄膜折射率测量方法及其应用
本发明属于精密测量领域，涉及一种基于面内光子自旋霍尔效应的偏振态调制型纳米级薄膜折射率测量方法及其应用。通过建立不同厚度的薄膜材料在各折射率下，面内光子自旋分裂位移随入射偏振态变化的数据库；将待检测的纳米级薄膜放到样品台...
秦自瑞姜利英白子豪任林娇张培齐汝宾庞伟伟周海洋
一种薄膜折射率检测装置及检测方法
本申请提供一种薄膜折射率检测装置及检测方法，所述薄膜折射率检测装置，其特征在于，包括依次设置的光源、超表面结构和探测器；超表面结构包括基底和设置在基底上的纳米结构层，且超表面结构用于汇聚光源的光，且用于承载待测折射率的薄...
郝成龙谭凤泽朱健
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半导体器件表面薄膜折射率的测量方法
本发明涉及一种测量方法，尤其是一种半导体器件表面薄膜折射率的测量方法。按照本发明提供的技术方案，一种半导体器件表面薄膜折射率的测量方法，所述测量方法包括如下步骤：步骤1、利用膜厚仪测量得到待测量薄膜厚度h1，其中，所述膜...
彭时秋陈全胜王涛肖步文
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抑制氧化铪薄膜折射率非均匀性的方法
一种抑制氧化铪薄膜折射率非均匀性的方法，在制备含有氧化铪膜层的多层光学薄膜时，镀制氧化铪的同时掺入氧化硅材料一同镀制形成氧化铪‑氧化硅混合膜层，抑制纯氧化铪膜层的折射率非均匀性，进而改善由于氧化铪膜层折射率非均匀性导致多...
孙建朱美萍赵泽成易葵张伟丽王建国王胭脂李静平赵娇玲邵宇川邵建达
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一种浸润控制薄膜折射率的动态光子晶体图案的制备方法
本发明提供了一种浸润控制薄膜折射率的动态光子晶体图案的制备方法。包括以下步骤：先在透明基材上制备二维光子晶体；再将丙烯酸类单体、光敏剂和交联剂混合均匀后得到混合溶液，使二维光子晶体与混合溶液相接触，并在透明基材上覆盖有图...
洪炜 刘海露陈旭东
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一种基于新型干涉结构测量薄膜折射率的装置
2020年
薄膜材料作为一种新兴的材料在生产,生活和科研等领域都扮演了重要的角色。薄膜材料在成膜过程中原料晶体的取向,晶粒的大小,杂质浓度,成分的均匀性以及基底材料温度等因素都会直接影响薄膜材料的特性,因此实现对薄膜折射率的高精度测量对于研究薄膜材料的基础特性有着极为重要的作用。在本文中我们使用基于一体长方体分光补偿结构和反射镜误差消除装置的干涉仪对薄膜的折射率进行了高精度的非接触式测量,我们计算得到待测薄膜的折射率为1.296,我们使用的薄膜的折射率为1.3,测量精度为99.69%。
李典阳
关键词：薄膜折射率
基于PL干涉现象的激光改性测量薄膜折射率和厚度的方法
本发明涉及一种基于PL干涉现象的激光改性测量薄膜折射率和厚度的方法，属于激光改性及测量领域。该方法基于飞秒激光微纳加工系统，包括以下步骤：通过将购买的GaN基LED外延片样品放到已有的六自由度平移台上，激光通过平凸聚焦在...
姜澜孙靖雅谢钰铎
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研究主题：光谱分析仪 宽带光源 倾斜光纤光栅 表面等离子体共振 薄膜折射率
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