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套刻标记的衍射仿真、误差测量灵敏度分析方法及设备
本申请属于光刻分析领域,具体公开了一种套刻标记的衍射仿真、误差测量灵敏度分析方法及设备,衍射仿真方法包括:结合套刻标记的参数和测量参数数确定入射光经过套刻标记后的出射点位置,所述出射光包括零级衍射光和高级次衍射光中的...
江浩陈侃刘佳敏崔雪李磊王威
生成多深度衍射时的遮挡消除方法、系统、设备及介质
本发明公开一种生成多深度衍射时的遮挡消除方法、系统、设备及介质,涉及全息图技术领域。所述方法包括:根据预设目标平面深度值、预设深度区间中的最大值、目标三维景的强度图像中第N个深度平面对应部分、第N‑1个深度平面的衍射...
闫兴鹏李佳琦刘新蕾张平胡海荣荆涛张聪聪
贝塞尔高斯光束的衍射计算方法、装置、设备及介质
本申请公开了一种贝塞尔高斯光束的衍射计算方法、装置、设备及介质,贝塞尔高斯光束由离轴锥反射镜的锥面将以一预设入射角入射的高斯光束反射得到;方法包括:获取高斯光束在离轴锥反射镜上刚刚反射后形成的反射光束的第一光分布;基...
赵帅严启峰钟志成
基于离焦衍射的大口径光学元件缺陷定位装置及方法
本发明提供了一种基于离焦衍射的大口径光学元件缺陷定位的装置及方法,使用一块大口径透镜,在透镜焦点附近的离焦位置采集离焦衍射,通过该离焦衍射实现了对大口径光学元件缺陷的定位。相比于传统的借助线扫描或面扫描的缺陷定位方...
焦兆阳王宏昌华翔刘雨欣彭馨慧孙明营朱健强
高功率回旋管辐射器的设计方法及其衍射的计算方法
本发明公开了一种高功率回旋管辐射器的设计方法及其衍射的计算方法,涉及准光辐射器技术领域。本发明对耦合模理论设计辐射器结构的一般方法进行了改进,计算了包括工作模式在内的25个模式叠加生成波导壁上的类高斯分布,在此基础上...
赵国慧
衍射打印系统及光学输出方法
本发明涉及衍射打印系统及光学输出方法,包括光源、照明光学子系统、成像光学子系统、参考光子系统、机械运动子系统和控制子系统,光源发出的光被分束成第一照明光和第二照明光;成像光学子系统包括衍射光学器件、空间光调制器和傅...
楼益民吴锋民胡娟梅
一种基于相似原理的天线口面衍射重构方法
本发明公开了一种基于相似原理的天线口面衍射重构方法,包括以下步骤;步骤1.使探头采集到口面近数据;步骤2.对口面数据进行采集;步骤3.利用空间卷积公式对两个频点下的口面数据进行卷积处理;步骤4.将数据集作为提供完...
陈晓明郑俊浩张明
三角形二维周期结构光栅的衍射
2021年
通过实验得出三角形二维周期结构光栅的夫琅禾费衍射图样;根据基尔霍夫衍射积分公式及相移-位移定理推导出三角形二维周期结构光栅在像面上的波前函数、振幅分布函数及光强分布函数;利用计算机数值模拟出三角形二维周期结构光栅在像面上振幅分布和光强分布的图样;分析衍射图样得出三角形二维周期结构光栅衍射的特征;结果表明:光的衍射具有提取、携带衍射屏信息的能力,可为研究全同单元组成的凝聚态物质结构时提供一种新的研究方法。
刘有菊杨庆辞何正英
关键词:衍射
一种对波束衍射分布分析的算法软件设计
电磁波的波束衍射是电磁波领域里重要研究课题之一。分析求解电磁波波束的衍射分布需要精确测量电磁波的强分布和相位分布。受限于当前技术水平,测量高功率分布的仪器主要测量强分布,很少测量电磁波的相位分布。为获得相位分布,最...
周泉辛
关键词:场强分布图像处理
文献传递
基于衍射叠加的高清三维全息显示方法及其实现装置
本发明提出一种基于衍射叠加的高清三维全息显示方法及其实现装置,其中,方法包括:步骤101,层结构数据模型的渲染;步骤102,子区域模型的构建;步骤103,各子区域全息图的计算;步骤104,全息图衍射重建结果在目标深度处...
曹良才何泽浩

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刘有菊
作品数:50被引量:72H指数:6
供职机构:保山学院
研究主题:衍射场 红外光谱 菲涅耳衍射 惠更斯-菲涅耳原理 二阶导数谱
王君
作品数:100被引量:34H指数:3
供职机构:四川大学
研究主题:全息图 全息 柱面 衍射 全息显示
李艳秋
作品数:442被引量:335H指数:11
供职机构:北京理工大学
研究主题:掩模 极紫外光刻 光源 光刻系统 投影物镜
杨亮
作品数:45被引量:26H指数:3
供职机构:北京理工大学
研究主题:计算方法 衍射场 掩模 特征矩阵 相移
郭福源
作品数:57被引量:152H指数:9
供职机构:福建师范大学
研究主题:衍射 光束传输因子 阵列波导光栅 高斯光束 衍射场