搜索到 篇“ 金属互连 “的相关文章

相关作者

康晓旭
作品数：419被引量：2H指数：1
供职机构：上海集成电路研发中心
研究主题：像元 红外探测器 衬底 牺牲层 微桥结构
李铭
作品数：168被引量：5H指数：1
供职机构：上海集成电路研发中心
研究主题：淀积 光刻 刻蚀 衬底 介质层
陈岚
作品数：886被引量：156H指数：5
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：版图 电路 研磨 集成电路版图 冗余
林宏
作品数：48被引量：5H指数：1
供职机构：上海集成电路研发中心
研究主题：空气隙 填充金属 铜互连 硅片 电镀铜
黄如
作品数：1,157被引量：352H指数：11
供职机构：北京大学
研究主题：场效应晶体管 沟道 存储器 晶体管 超大规模集成电路