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赵超
作品数:560被引量:31H指数:4
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钟汇才
作品数:377被引量:37H指数:4
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李俊峰
作品数:479被引量:7H指数:2
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 衬底 沟道 栅极
王华明
作品数:244被引量:1,971H指数:26
供职机构:北京航空航天大学
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