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一种高介常数、低损耗电容
本发明公开了一种高介常数、低损耗电容器及其制备方法,涉及陶瓷电容器技术领域,其制备原料包括介陶瓷组合物,所述介陶瓷组合物包含(BimAnBpCq)FeO3、Bi(FemDnEpFq)O3中的至少一种,其中A、B...
刘亦谦刘隽甫孙士伦徐邵亮
一种薄膜的制备方法和电容
本公开提供了一种薄膜的制备方法和电容器,可以应用于半导体技术领域。该薄膜的制备方法包括:在衬底上形成第一极层;利用Hf靶材和Y<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>靶材,通过磁控溅射在第一极层...
王渊李冠霖罗庆
一种电容器超快滞回线测量方法
本发明属于固态介质材料测试技术领域,具体为一种电容器超快滞回线测量方法。本发明提出一种等效路,能够求得线路中杂散感以及杂散感的分压随时间的变化;同时提出电容滞回线校正方法;首先在标准电容电容器...
江安全王兴龙胡宪宇松见康平胡笛
一种PbZrO<SUB>3</SUB>反电容器及其制备方法
本发明提供一种PbZrO<SUB>3</SUB>反电容器及其制备方法,涉及材料技术领域,一种PbZrO<SUB>3</SUB>反电容器,包括第一极层、PbO层、固溶体的反层、LaNiO<SUB>3<...
孙士伦刘隽甫刘亦谦徐绍亮
基于氮化物底极的铝钪氮电容存储器及制备方法
本发明公开了一种基于氮化物底极的铝钪氮电容存储器及其制备方法,通过在富氮环境下生长金属氮化物极作为铝钪氮层的底极实现对铝钪氮电容存储器的性能调控,具体是在富氮环境下,在基底上沉积生长氮化物底极,随后在...
李伯昌刘艳杨学峰张嘉豪韩根全郝跃
一种面向路仿真的电容建模方法
本发明公开了一种面向路仿真的电容建模方法,包括以下步骤;步骤1:修正节点分析法,使得MNA与Fecap的MNA model建模联系;步骤2:Fecap元件的MNA model形成过程,基于MNA,利用Fecap的L...
李博陈凯陈冰韩根全刘艳
在PDK中建立电容模型的方法、装置、设备及介质
本申请公开了一种在PDK中建立电容模型的方法、装置、设备及介质,提取电容基于仿真影响的PDK规格定义表;其中,PDK规格定义表中包括规格指标和公式定义;定义电容的参数化单元的组件描述格式参数,根据规格指标确定...
邵天奇伍逸成刘厚方
一种电容器及其制备方法
本发明提供一种电容器及其制备方法,该电容器包括极底座;所述极底座上方设置有第一上极,第一上极为柱形,第一上极的外壁和底部设置有第一薄膜,第一薄膜的外壁和底部设置有下极;第二上极;第二上极包...
许占齐吕震宇王宇袁旭
一种电容器的制备方法
本发明提供一种电容器的制备方法,该制备方法包括:在晶圆一侧制备单元孔,在单元孔一侧依次进行阻隔层沉积和下极沉积;在下极表面进行硬掩膜制备,对硬掩膜进行等离子刻蚀至下极表面,对下极层和阻隔层进行刻蚀;移除硬掩膜...
许占齐 吕震宇 王宇 袁旭 刘旭 李兵
一种电容制备方法及其电容
本发明公开了一种电容制备方法及其电容,包括于电容制备中,对沉积于晶圆表面的结构层采用湿法刻蚀,利用刻蚀液粘度导致的液膜张力避免刻蚀液进入立体电容孔内,只刻蚀晶圆表面保留立体电容孔内膜层;所述沉积于晶圆表面的结构层...
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任天令
作品数:433被引量:350H指数:10
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研究主题:铁电 电极 铁电薄膜 铁电存储器 PZT
翟亚红
作品数:59被引量:40H指数:4
供职机构:电子科技大学
研究主题:铁电电容 铁电 铁电存储器 抗辐射 PZT
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作品数:149被引量:11H指数:2
供职机构:湘潭大学
研究主题:铁电 氧化铪 铁电薄膜 电极 铁电场效应晶体管
贾泽
作品数:34被引量:1H指数:1
供职机构:清华大学
研究主题:铁电存储器 集成电路设计 铁电电容 铁电 半导体集成电路
周益春
作品数:534被引量:442H指数:10
供职机构:湘潭大学
研究主题:热障涂层 铁电薄膜 铁电 氧化铪 涡轮叶片