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铁电电容
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排序方式:
相关度排序
被引量排序
时效性降序
时效性升序
相关度排序
相关度排序
被引量排序
时效性降序
时效性升序
一种高介
电
常数、低损耗
铁
电
电容
器
本发明公开了一种高介
电
常数、低损耗
铁
电
电容
器及其制备方法,涉及陶瓷
电容
器技术领域,其制备原料包括介
电
陶瓷组合物,所述介
电
陶瓷组合物包含(BimAnBpCq)FeO3、Bi(FemDnEpFq)O3中的至少一种,其中A、B...
刘亦谦
刘隽甫
孙士伦
徐邵亮
一种
铁
电
薄膜的制备方法和
铁
电
电容
器
本公开提供了一种
铁
电
薄膜的制备方法和
铁
电
电容
器,可以应用于半导体技术领域。该
铁
电
薄膜的制备方法包括:在衬底上形成第一
电
极层;利用Hf靶材和Y<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>靶材,通过磁控溅射在第一
电
极层...
王渊
李冠霖
罗庆
一种
铁
电
电容
器超快
电
滞回线测量方法
本发明属于固态
电
介质材料测试技术领域,具体为一种
铁
电
电容
器超快
电
滞回线测量方法。本发明提出一种等效
电
路,能够求得线路中杂散
电
感以及杂散
电
感的分压随时间的变化;同时提出
铁
电
电容
器
电
滞回线校正方法;首先在标准
电容
或
铁
电
电容
器...
江安全
王兴龙
胡宪宇
松见康平
胡笛
一种PbZrO<SUB>3</SUB>反
铁
电
电容
器及其制备方法
本发明提供一种PbZrO<SUB>3</SUB>反
铁
电
电容
器及其制备方法,涉及
铁
电
材料技术领域,一种PbZrO<SUB>3</SUB>反
铁
电
电容
器,包括第一
电
极层、PbO层、固溶
铁
电
体的反
铁
电
层、LaNiO<SUB>3<...
孙士伦
刘隽甫
刘亦谦
徐绍亮
基于氮化物底
电
极的铝钪氮
铁
电
电容
存储器及制备方法
本发明公开了一种基于氮化物底
电
极的铝钪氮
铁
电
电容
存储器及其制备方法,通过在富氮环境下生长金属氮化物
电
极作为铝钪氮
铁
电
层的底
电
极实现对铝钪氮
铁
电
电容
存储器的性能调控,具体是在富氮环境下,在基底上沉积生长氮化物底
电
极,随后在...
李伯昌
刘艳
杨学峰
张嘉豪
韩根全
郝跃
一种面向
电
路仿真的
铁
电
电容
建模方法
本发明公开了一种面向
电
路仿真的
铁
电
电容
建模方法,包括以下步骤;步骤1:修正节点分析法,使得MNA与Fecap的MNA model建模联系;步骤2:Fecap元件的MNA model形成过程,基于MNA,利用Fecap的L...
李博
陈凯
陈冰
韩根全
刘艳
在PDK中建立
铁
电
电容
模型的方法、装置、设备及介质
本申请公开了一种在PDK中建立
铁
电
电容
模型的方法、装置、设备及介质,提取
铁
电
电容
基于仿真影响的PDK规格定义表;其中,PDK规格定义表中包括规格指标和公式定义;定义
铁
电
电容
的参数化单元的组件描述格式参数,根据规格指标确定...
邵天奇
伍逸成
刘厚方
一种
铁
电
电容
器及其制备方法
本发明提供一种
铁
电
电容
器及其制备方法,该
铁
电
电容
器包括
电
极底座;所述
电
极底座上方设置有第一上
电
极,第一上
电
极为柱形,第一上
电
极的外壁和底部设置有第一
铁
电
薄膜,第一
铁
电
薄膜的外壁和底部设置有下
电
极;第二上
电
极;第二上
电
极包...
许占齐
吕震宇
王宇
袁旭
一种
铁
电
电容
器的制备方法
本发明提供一种
铁
电
电容
器的制备方法,该制备方法包括:在晶圆一侧制备单元孔,在单元孔一侧依次进行阻隔层沉积和下
电
极沉积;在下
电
极表面进行硬掩膜制备,对硬掩膜进行等离子刻蚀至下
电
极表面,对下
电
极层和阻隔层进行刻蚀;移除硬掩膜...
许占齐
吕震宇
王宇
袁旭
刘旭
李兵
一种
铁
电
电容
制备方法及其
电容
本发明公开了一种
铁
电
电容
制备方法及其
电容
,包括于
铁
电
电容
制备中,对沉积于晶圆表面的结构层采用湿法刻蚀,利用刻蚀液粘度导致的液膜张力避免刻蚀液进入立体
电容
孔内,只刻蚀晶圆表面保留立体
电容
孔内膜层;所述沉积于晶圆表面的结构层...
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被引量:442
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