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集成电路制造系统
本发明的实施例提供了一种集成电路制造系统,包括:室,在所述室中对衬底进行集成电路制造;加热装置,用于在所述集成电路制造过程中加热所述衬底;和衬底保持器件,用于在所述集成电路制造期间将所述衬底固定在所述室中,其中所述衬底保...
林逸宏李志鸿卢昶伸李资良李启弘
一种集成电路制造方法、装置、电子设备及器件结构
本申请提供了一种集成电路制造方法、装置、电子设备及器件结构,涉及半导体技术领域,该方法包括:在利用CMOS工艺流程在硅衬底上制作高压集成电路的同时,在所述CMOS工艺流程下,利用目标分立器件对应的光罩信息在硅衬底的目标区...
高沛雄吴林晓
集成电路制造工艺规则验证DRC自动界面实现方法
本发明提供集成电路制造工艺规则验证DRC自动界面实现方法,包括如下步骤:先启动软件,通过选项卡模块显示方式新创建DRC工程,采用进度条的模式提示用户该章节的完度,定义器件和工艺物理信息,进行内容的匹配度检查,定义物理层...
黄国勳黄艳
集成电路制造工艺真空输运仿真方法、装置、设备及介质
本发明公开一种集成电路制造工艺真空输运仿真方法、装置、设备及介质,涉及集成电路制造工艺仿真领域,所述集成电路制造工艺真空输运仿真方法,将输运粒子的初始位置、仿真粒子的运动方向向量、仿真区域的子节点区域作为有限状态机的输入...
邵花傅一豪韦亚一陈睿
集成电路设计与系统丛书 集成电路制造工艺与模拟
本书内容涵盖集成电路制造工艺及模拟仿真知识。详细介绍了集成电路的发展史及产业发展趋势、集成电路制造工艺流程及模拟仿真基础、集成电路制造的材料及相关环境、晶圆的制备与加工;具体讲解了氧化、淀积、金属化、光刻、刻蚀、离子注入...
孙晓东
集成电路制造工艺项目化实践
本书为高等职业教育产教融合新形态教材,系都职业技术学院中国特色高水平专业群产教融合项目建设果之一。本书内容深度对接行业、企业标准,紧扣集成电路技术专业人才培养能力目标,共分为5个项目13个任务,具体介绍了单晶硅制备工...
孟奕峰
国家科技安全的风险评估、预警方法及其实证——以集成电路制造业为例
2025年
构建了基于PSR概念模型的科技安全评估预警模型,从压力、状态、响应三个维度对2011—2022年我国集成电路制造业的科技安全状况进行预警评估。结果发现:集成电路制造业易受冲击的根源在于我国历史上长期对该产业科技安全风险感知不足,在对外技术依赖的同时缺乏风险意识,有效的风险预警方法更为缺乏。从整体上看,自2011年以来我国集成电路制造业科技安全状况在观察年内逐步改善,但综合指数仍处于危险的预警区间;从各维度看,压力层、状态层指数呈现波动上升,响应层指数平均高于前两者,反映出我国科技安全响应状态正在较为有效化解当前的风险。
刘兰剑刘兰剑
关键词:技术封锁
半导体集成电路制造中晶圆角度的分析方法和系统
本发明公开了一种半导体集成电路制造中晶圆角度的分析方法,包括:步骤一、收生产线上各机台上的机台角度数据。步骤二、根据机台角度数据进行预测并被分析晶圆在工艺过程中的角度轨迹图。步骤三、按照缺陷种类对被分析批次中的缺陷晶圆...
崔莹
一种集成电路制造用晶圆覆膜装置
本实用新型涉及晶圆覆膜技术领域,具体为一种集成电路制造用晶圆覆膜装置,包括工作台,所述工作台的前表面设置有控制面板,所述工作台的顶面固定连接有第一侧板,所述第一侧板的背面设置有薄膜辊;第二侧板,所述第二侧板安装在工作台的...
刘武刘文刘培范
一种用于集成电路制造电路板夹板
本实用新型涉及电路制造技术领域,具体为一种用于集成电路制造电路板夹板,包括:装置本体、限位装置和夹持结构,所述装置本体中的第一螺纹槽内部旋转连接限位装置中的转动螺栓,所述转动螺栓下端焊接第一转动块,所述第一转动块外侧活...
刘武刘文刘培范

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张卫
作品数:820被引量:301H指数:9
供职机构:复旦大学
研究主题:原子层淀积 晶体管 电极 存储器 隧穿
周鹏
作品数:317被引量:104H指数:4
供职机构:贵州大学
研究主题:存储器 百香果 石墨烯 集成电路制造 胶囊
孙清清
作品数:376被引量:8H指数:2
供职机构:复旦大学
研究主题:电极 存储器 原子层淀积 晶体管 底电极
王鹏飞
作品数:274被引量:77H指数:6
供职机构:复旦大学
研究主题:自对准 场效应晶体管 原子层淀积 存储器 漏电流
陈岚
作品数:911被引量:176H指数:5
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:版图 电路 研磨 集成电路版图 CMP