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集成电路制造
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时效性降序
时效性升序
相关度排序
相关度排序
被引量排序
时效性降序
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集成电路
制造
系统
本发明的实施例提供了一种
集成电路
制造
系统,包括:室,在所述室中对衬底进行
集成电路
制造
;加热装置,用于在所述
集成电路
制造
过程中加热所述衬底;和衬底保持器件,用于在所述
集成电路
制造
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制造
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集成电路
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制造
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集成电路
制造
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集成电路
制造
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集成电路
制造
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集成电路
制造
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集成电路
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集成电路
制造
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制造
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集成电路
制造
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成
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成
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孟奕峰
国家科技安全的风险评估、预警方法及其实证——以
集成电路
制造
业为例
2025年
构建了基于PSR概念模型的科技安全评估预警模型,从压力、状态、响应三个维度对2011—2022年我国
集成电路
制造
业的科技安全状况进行预警评估。结果发现:
集成电路
制造
业易受冲击的根源在于我国历史上长期对该产业科技安全风险感知不足,在对外技术依赖的同时缺乏风险意识,有效的风险预警方法更为缺乏。从整体上看,自2011年以来我国
集成电路
制造
业科技安全状况在观察年内逐步改善,但综合指数仍处于危险的预警区间;从各维度看,压力层、状态层指数呈现波动上升,响应层指数平均高于前两者,反映出我国科技安全响应状态正在较为有效化解当前的风险。
刘兰剑
刘兰剑
关键词:
技术封锁
半导体
集成电路
制造
中晶圆角度的分析方法和系统
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集成电路
制造
中晶圆角度的分析方法,包括:步骤一、收
集
生产线上各机台上的机台角度数据。步骤二、根据机台角度数据进行预测并被分析晶圆在工艺过程中的角度轨迹图。步骤三、按照缺陷种类对被分析批次中的缺陷晶圆...
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一种
集成电路
制造
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集成电路
制造
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刘武
刘文
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集成电路
制造
的
电路
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本实用新型涉及
电路
制造
技术领域,具体为一种用于
集成电路
制造
的
电路
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刘武
刘文
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