搜索到 篇“ ECR “的相关文章

相关作者

杨涓
作品数：112被引量：268H指数：9
供职机构：西北工业大学航天学院
研究主题：微波 微波等离子推力器 电子回旋共振 电推进 ECR
刁东风
作品数：142被引量：38H指数：4
供职机构：深圳大学
研究主题：碳膜 ECR 测试装置 石墨烯 悬臂梁
宁兆元
作品数：128被引量：465H指数：14
供职机构：苏州大学
研究主题：等离子体 氟化非晶碳薄膜 ECR 感应耦合等离子体 光学带隙
桑利军
作品数：58被引量：52H指数：5
供职机构：北京印刷学院
研究主题：原子层沉积 氧化铝薄膜 ECR 等离子体辅助 类金刚石薄膜
陈强
作品数：372被引量：445H指数：9
供职机构：北京工业大学
研究主题：原子层沉积 等离子体 大气压 类金刚石薄膜 性能研究