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压电复合薄膜的SAW器件杂波抑制及仿真方法
2024年
针对任意复杂膜系结构压电复合薄膜声表面波(SAW)器件横向杂波抑制及精确快速仿真方法,从数学上严格分析推导了有限长结构分层级联理论和色散2D-COM模型,可精确快速地计算压电复合薄膜SAW器件传播方向及孔径方向结构对杂波模式的影响,并通过色散2D-COM模型对SAW器件杂波抑制进行综合分析。通过对41°Y-X LiNbO_(3)/SiO_(2)/Si_poly/Si(111)复合衬底SAW谐振器的优化设计与研制,结果表明,设计优化结果与实验结果吻合较好,验证了该方法的有效性和可行性。
王吉芳陈平静曹稚颖潘虹芝董加和肖强吴浩东陈正林马晋毅
关键词：SAW器件杂波抑制
一种集成声流控SAW器件与薄膜晶体管器件的传感器及其制备方法、应用
本发明公开了一种集成声流控SAW器件与薄膜晶体管器件的传感器及其制备方法、应用，其中声流控器件基于氧化锌薄膜作为压电材料，薄膜晶体管选用氧化锌作为沟道材料。本发明集成了声流控器件的筛选功能与薄膜晶体管的传感功能，能在筛选...
朱鑫杨晓慧郭希山郑音飞
一种TC-SAW器件及其制造方法
本发明涉及声表面波器件领域。普通STD‑SAW器件对温度变化很敏感，性能变化比较明显。为此，本发明提供一种TC‑SAW器件，包括压电材料基板和设在压电材料基板上的叉指电极，还包括覆盖在叉指电极上的温度补偿层、压电材料基板...
宋崇希姚艳龙
层状体和SAW器件
一种层状体包括由多晶陶瓷形成并且具有支撑主表面的陶瓷基板和由压电材料形成并且具有通过范德华力结合到所述支撑主表面的结合主表面的压电基片。陶瓷基板包括形成的支撑主表面无定形层，所述支撑主表面无定形层形成为包括所述支撑主表面...
下司庆一郎山口辽太长谷川干人
一种压电模板、SAW器件及其制备方法
本申请提供了一种压电模板、SAW器件及其制备方法，本申请在第一衬底上依次生长压电材料层和保护层，将保护层键合至第二衬底上后剥离第一衬底，形成从下至上由第二衬底、保护层、压电材料层构成的压电模板，其中，保护层的晶格常数大于...
程凯
一种抑制SAW器件杂散响应的结构
本申请提供了一种抑制SAW器件杂散响应的结构，所述SAW器件包含第一压电基底层、第二压电基底层、IDT层；其中所述第二压电基底层置于第一压电基底层之上，所述IDT层置于第二压电基底层之上；所述IDT层由第一电极及第二电极...
刘子奇陈威
一种抑制TC-SAW器件杂散响应的结构
本申请提供了一种抑制TC‑SAW器件杂散响应的结构，其包括压电基底层、置于所述压电基底层之上的IDT层、置于所述IDT层之上的SiO<Sub>2</Sub>温度补偿层以及置于所述SiO<Sub>2</Sub>温度补偿层之...
刘子奇陈威
一种具有抑制多层SAW器件杂散的IDT结构
本申请提供了一种具有抑制多层SAW器件杂散的IDT结构，所述多层SAW器件包括：第一SiO<Sub>2</Sub>温度补偿层，置于所述第一SiO<Sub>2</Sub>温度补偿层之上的第一高阻抗层，置于所述第一高阻抗层之...
刘子奇陈威
一种SAW器件结构
本申请提供了一种SAW器件结构，包括依次层叠设置的衬底、支撑结构层、单晶压电层以及叉指换能器，支撑结构层包括至少一个周期结构，每个周期结构包括至少一个周期，每个周期包括依次层叠设置的第一周期层和第二周期层，第一周期层的材...
程凯
一种具有抑制多层SAW器件杂散响应的谐振结构
本申请提供了一种具有抑制多层SAW器件杂散响应的谐振结构，多层SAW器件集中了传统SAW与BAW器件的优点，能够通过灵活地改变不同层之间的材料与厚度比，以此在高频下仍然保持大带宽，从而很好地满足5G时代下对于滤波器件的需...
刘子奇陈威
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杨保和
作品数：167被引量：241H指数：8
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研究主题：金刚石 金刚石膜 声表面波器件 声表面波 金刚石薄膜
王代强
作品数：59被引量：6H指数：1
供职机构：贵州民族大学
研究主题：陷波 超宽带天线 超宽带 微带 开环谐振器
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作品数：6被引量：0H指数：0
供职机构：贵州民族大学
研究主题：叉指换能器 延时线 SAW器件 声表面波谐振器 声表面波滤波器
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供职机构：贵州民族大学
研究主题：密度泛函理论 量子相变 热解机理 玻色子 高自旋态
杨吟野
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