搜索到 篇“ SIMOX圆片 “的相关文章

相关作者

陈猛
作品数：57被引量：20H指数：3
供职机构：清华大学
研究主题：注氧隔离 SOI 高温退火 SIMOX 低剂量
王曦
作品数：531被引量：250H指数：9
供职机构：清华大学
研究主题：衬底 离子注入 SOI 硅 绝缘体
陈静
作品数：13被引量：40H指数：4
供职机构：苏州大学机电工程学院
研究主题：SIMOX圆片 低剂量 球磨 锗 SOI
林梓鑫
作品数：44被引量：111H指数：3
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：离子注入 SOI 低剂量 硅 SIMOX
郑望
作品数：4被引量：11H指数：3
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：SOI SIMOX圆片 低剂量 SIMOX 集成电路