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真空技术在分析技术领域的作用——TOF-SIMS分析技术在矿物样品表征上的应用
2024年
矿物样品的研究是矿物学、岩石学、矿床学等地质学科的基础,矿物的表面形貌、元素组成和分布特征能够揭示成矿物质来源、成矿过程和地质历史等。本文阐述了对于矿物样品表征具有广泛应用潜力的TOF-SIMS原理、技术优势及其所需的真空条件,重点总结了国内外学者应用TOF-SIMS在矿物识别、矿物成像、矿物成分定量分析和深度剖析及矿物加工上的研究进展与存在的问题,并对相关领域进行了展望。
王富芳徐子琪郭冲梁汉东梁汉东
关键词：成像分析
红外半导体材料SIMS分析研究被引量：1
2018年
介绍了二次离子质谱仪(Secondary Ion Mass Spectrometer,SIMS)的基本原理及其在焦平面红外半导体材料和器件制备工艺中发挥的重要作用。通过对掺砷碲镉汞和CdTe/InSb材料进行SIMS测试,研究了不同离子源和一次束流大小对测试结果的影响,为后续SIMS分析技术在红外探测器材料的进一步研究奠定了基础。
李乾折伟林周朋李达
关键词：碲镉汞红外焦平面
冬虫夏草中甘露醇和虫草素的TOF-SIMS分析被引量：5
2016年
用飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)分析研究了冬虫夏草中两个最重要的药效活性物质,甘露醇和虫草素,重点研究对应质量数251amu的质谱峰含有的化学信息。利用TOF-SIMS高质量分辨率的优势,检测并识别251和252amu质谱峰的信号有可能不是保健药理活性物质虫草素C_(10)H_(13)N_5O_3(251amu)产生的分子离子峰M^+,[M+H]^+,这或许就是文献中有关研究虫草素存在争论的原因。TOF-SIMS分析结果为进一步解读251amu质谱峰的化学内含、深入研究冬虫夏草中虫草素提供了依据;同时就甘露醇对应的(181amu附近)TOF-SIMS负离子质谱峰做了细致的解读,确认181amu质谱峰是识别冬虫夏草中甘露醇的可靠依据。本研究证明,TOF-SIMS是分析、研究、鉴别冬虫夏草的有效手段。
李展平真田则明孙素琴
关键词：冬虫夏草甘露醇虫草素
TOF-SIMS分析测试技术研究
飞行时间二次离子质谱法(Time of Flight Secondary ion mass spectroscopy简称TOF-SIMS)是一种微区表面分析方法,已经应用于生物学、材料学等众多领域。本论文依托于国家重大科...
石坚
关键词：数据分析软件铜同位素数据处理
文献传递
用于SIMS分析的LED芯片样品制备
本文在分析LED芯片结构和组分以及影响SIMS深度分辨因素的基础上采用CMP技术对垂直结构LED芯片进行加工。通过使用抛光剂对LED芯片进行减薄和平坦化处理,再利用奥林巴斯显微镜来对所制得样品表面进行观察和分析,并从中选...
吴志鹏
关键词：LED芯片表面粗糙度可靠性
文献传递
SIMS分析在LED外延材料研发中的应用
结合实例讨论了SIMS分析在研究外延材料生长机理、改进材料制备工艺、监测外延材料生长质量等方面的应用。针对日常测试样品主要是GaN基LED外延片的特点，利用MOCVD制备了基体和结构基本相同的样品作为参考物质，通过实验确...
张萌闫莉维潘拴李丹
关键词：发光二极管二次离子质谱
SIMS分析参数的设置对RSF稳定性的影响
离子质谱仪(SIMS)具有检测灵敏度高,稳定性好,能分析元素周期表中包括氢元素在内的所有元素,也可以对微量杂质元素进行定量.在SIMS元素定量中相对灵敏度因子(RSF)起着十分重要的作用,RSF好的稳定性将为SIMS操作...
李丹潘栓张萌
关键词：稳定性
SIMS分析技术及其在黄铁矿原位微区分析微量元素测定的应用
2013年
离子探针(Secondary-ion mass spectrometry,SIMS)是一种固体原位微区分析技术,具有高分辨率、高精度、高灵敏等特征,广泛应用于地球化学、天体化学、半导体工业、生物等研究中。本文主要阐明了SIMS技术的原理、类型及其特点,综述了在地球科学方面的某些研究,对比了不同微区分析技术的特点,最后,介绍了SIMS技术在黄铁矿微量元素原位微区分析的应用。
虞鹏鹏
关键词：天体化学黄铁矿
采用ToF-SIMS分析喷墨油墨各组分在纸基中的分布
2011年
摘译 数字印刷得以持续发展的一个原因是其具有较高的印刷质量，这里所说印刷质量主要是指成品的光学指标，它主要受油墨与纸基相互作用的影响，包括油墨在纸基表面的扩散（XY方向）和向纸基内部的渗透（Z方向），两者相互作用的平衡点是能获得最佳印品质量的关键。消费者主要通过着色剂（染料或颜料）的分布，从视觉上评判印品质量，但油墨的其他组分（连结料／溶剂、助溶剂、表面活性剂等）对影像的形成和纸基对油墨的吸收有重要影响。
FILENKOVA AACOSTA EBRODERSEN P MSODHI R N SFARNOOD R许英(编译)
关键词：油墨印刷质量相互作用数字印刷
硅中磷的SIMS分析被引量：5
2010年
本文采用相对灵敏度因子法,对硅中磷含量的SIMS定量分析方法进行研究。并通过提高质量分辨率的方法降低背景,使磷的检测限达到1.0×10^(14) atoms/cm^3,进而成为高纯硅样品中磷杂质含量的最可行的检测手段。
何友琴马农农王东雪
关键词：硅二次离子质谱磷
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宗祥福
作品数：131被引量：238H指数：8
供职机构：复旦大学
研究主题：锂离子电池 集成电路 聚合物电解质 SIMS 氮化铝
曹永明
作品数：33被引量：34H指数：3
供职机构：复旦大学材料科学系
研究主题：SIMS 二次离子质谱 离子注入 SIMS分析 硼
陈春华
作品数：19被引量：25H指数：3
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：二次离子质谱 砷化镓 SIMS GAAS ALN
马农农
作品数：22被引量：17H指数：3
供职机构：中国电子科技集团公司
研究主题：二次离子质谱 硅 砷化镓 SIMS 硼
刘容
作品数：2被引量：0H指数：0
供职机构：天津电子材料研究所
研究主题：硅 SIMS分析 二次离子质谱 砷 硼