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- 关键词：不锈钢氮化钛多弧离子镀耐蚀性
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- 一种针对超厚TiN膜层保持超硬特性同时提高韧性的制备方法
- 本发明公开了一种制备超厚以及韧性高的TiN方法，其中，制备该TiN膜方法包括：采用金属阴极真空磁过滤沉积系统(FCVA)，在工件表面利用高能大束流金属离子束对工件进行清洗；然后采用金属真空蒸汽离子源方法(MEVVA)，在...
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