2025年1月18日
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张燕陵
作品数: 2
被引量:0
H指数:0
所属机构:
中国科学院等离子体物理研究所
所在地区:
安徽省 合肥市
研究方向:
核科学技术
相关作者
宁兆元
作品数:128
被引量:466
H指数:14
供职机构:苏州大学
研究主题:等离子体 氟化非晶碳薄膜 ECR 感应耦合等离子体 光学带隙
任兆杏
作品数:90
被引量:399
H指数:12
供职机构:中国科学院等离子体物理研究所
研究主题:等离子体 电子回旋共振 ECR-PECVD ECR 氮化硅
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