张燕陵
作品数: 2被引量:0H指数:0
  • 所属机构:中国科学院等离子体物理研究所
  • 所在地区:安徽省 合肥市
  • 研究方向:核科学技术

相关作者

宁兆元
作品数:128被引量:466H指数:14
供职机构:苏州大学
研究主题:等离子体 氟化非晶碳薄膜 ECR 感应耦合等离子体 光学带隙
任兆杏
作品数:90被引量:399H指数:12
供职机构:中国科学院等离子体物理研究所
研究主题:等离子体 电子回旋共振 ECR-PECVD ECR 氮化硅