- VLSI超纯水系统重点参数模式曲线的日常管理方法
- 本文以清华大学微电子学研究所VLSI用10m<'3>h超纯水系统的3年运行数据为例,介绍了笔者总结的重点参数模式曲线的日常管理方法,利用中央监控计算机自动采集数据的功能,结合EXCEL、ACCESS等办公软件,大大提高了...
- 刘朋陈为红杨宝和
- 关键词：超纯水系统水处理技术
- 文献传递
- VLSI用超纯水制备系统设计中的一些重点问题被引量：1
- 2004年
- 介绍了清华大学微电子学研究所VLSI用超纯水系统在设计过程中的一些特殊要求和遇到的重点问题。该系统在两级反渗透、电连续去离子、真空膜脱氧、高纯材料的使用、超痕量分析技术以及上位计算机监控等方面都代表了当今超纯水技术的先进水平。
- 刘朋陈为红杨宝和王水弟
- 关键词：超纯水系统
- 超大规模集成电路用超纯水制备系统的设计被引量：4
- 2003年
- 本文介绍了一套超大规模集成电路(VLSI)用10m3/h超纯水系统的设计要点.经实际运行,性能稳定、操作简单、自动化程度高,有很好的示范作用.
- 刘朋王水弟杨宝和陈为红
- 关键词：超大规模集成电路水质自动化
