匡翠方
作品数： 10被引量：0H指数：0
  • 所属机构:北京理工大学
  • 所在地区:北京市

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李艳秋
作品数：444被引量：338H指数：11
供职机构：北京理工大学
研究主题：掩模 极紫外光刻 光源 光刻系统 投影物镜
刘丽辉
作品数：54被引量：7H指数：1
供职机构：北京理工大学
研究主题：光刻物镜 光刻机 波像差 投影物镜 平面反射镜
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