周再发
作品数： 182被引量：82H指数：4
  • 所属机构:东南大学
  • 所在地区:江苏省 南京市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家杰出青年科学基金

相关作者

李伟华
作品数：276被引量：191H指数：7
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张璐
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作品列表
硅微机械制造的工艺模型、在线测试结构及其关键技术与应用
黄庆安周再发李伟华聂萌
项目属于微机电系统(MEMS)领域. 微机电系统(MEMS)出现于20世纪80年代中后期，在信息、医疗、汽车、消费类电子、航空航天以及军事等领域有广阔的应用前景.由于硅单晶具有良好的机械特性，又可以利用微电子工业高精度并...
关键词：
关键词：微机电系统硅单晶
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周再发张宇
多晶硅-金属热电偶塞贝克系数的在线测试结构
本实用新型公开了一种多晶硅-金属热电偶塞贝克系数的在线测试结构，该技术利用两个测温电阻分别测量热稳态时热电偶冷、热端的实际温差，测量热电偶堆的开路电压，并通过简单计算得到多晶硅-金属热电偶的塞贝克系数。本实用新型的测试结...
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一种多晶硅薄膜残余应力的测试结构及其测试方法，包括硅衬底，硅衬底上设二氧化硅层和氮化硅层，氮化硅层上设东南西北向偏转结构，东西镜面对称，南北镜面对称，东南西北向偏转结构采用偏转结构，偏转结构包括指针梁，在指针梁上垂直连接...
周再发王雷黄庆安屠晨锋李伟华
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一种在光刻胶刻蚀过程中表面演化模拟的哈希快速推进方法
本发明公开了一种光刻胶刻蚀过程中表面演化模拟的哈希快速推进方法，包括：衬底网格化和确定刻蚀速度矩阵，网格点时间值初始化，构建哈希表和最小堆，向前推进并更新，重复上述步骤直到最小根节点的时间值不小于预设的光刻胶刻蚀（光刻胶...
周再发施立立黄庆安李伟华张恒
一种半导体导电薄膜线宽的在线测试结构及方法
本发明公开了一种半导体导电薄膜线宽的在线测试结构及方法，在与待测半导体导电薄膜一端侧制备与其连成整体的圆形半导体薄膜，圆形半导体薄膜周侧设置四个接触电极，采用改进的四点探针法测量并计算得到接触电极的张开角度，进一步得到半...
宋玉洁周再发
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硅各向异性腐蚀过程模拟的元胞自动机方法是硅各向异性腐蚀过程模拟技术，该方法采用硅的晶格结构作为元胞自动机的晶格结构，根据一个表面元胞与其一级相邻元胞的连接状态及这些一级相邻元胞相对于腐蚀界面的位置，这些一级相邻元胞与二级...
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