-
张晨辉
-
-
- 所属机构:清华大学
- 所在地区:北京市
- 研究方向:一般工业技术
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 雒建斌
- 作品数：624被引量：1,164H指数：19
- 供职机构：清华大学
- 研究主题：化学机械抛光 润滑 薄膜润滑 抛光液 纳米级
- 刘大猛
- 作品数：104被引量：15H指数：1
- 供职机构：清华大学
- 研究主题：超高真空 激子 换热器 氦气 冷头
- 王婷
- 作品数：67被引量：72H指数：5
- 供职机构：清华大学
- 研究主题：超高真空 换热器 荧光增强 冷头 纳米银
- 王岩
- 作品数：119被引量：165H指数：8
- 供职机构：清华大学
- 研究主题：移动终端 高温气冷堆 宽频带 膜萃取 抗磨剂
- 路新春
- 作品数：355被引量：355H指数：11
- 供职机构：清华大学
- 研究主题：化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
