-
段广洪
-

-

- 所属机构:清华大学深圳研究生院
- 所在地区:广东省 深圳市
- 研究方向:机械工程
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 汪劲松

- 作品数:539被引量:2,810H指数:31
- 供职机构:清华大学
- 研究主题:光刻机 并联机床 机器人 三自由度 并联机构
- 向东

- 作品数:385被引量:874H指数:16
- 供职机构:清华大学
- 研究主题:测试向量 自适应路由 扫描链 路由方法 无死锁
- 朱煜

- 作品数:569被引量:827H指数:16
- 供职机构:清华大学
- 研究主题:光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
- 尹文生

- 作品数:321被引量:658H指数:12
- 供职机构:华中科技大学
- 研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 工位 直线电机
- 张鸣

- 作品数:401被引量:289H指数:10
- 供职机构:清华大学
- 研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 位移测量系统 工位