王湘
作品数： 33被引量：2H指数：1
  • 所属机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 所在地区:上海市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家杰出青年科学基金

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王曦
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研究主题：离子注入 SOI 低剂量 硅 SIMOX
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