-
胡金春
-
-
- 所属机构:清华大学
- 所在地区:北京市
- 研究方向:自动化与计算机技术
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 朱煜
- 作品数:555被引量:787H指数:15
- 供职机构:清华大学
- 研究主题:光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
- 张鸣
- 作品数:390被引量:264H指数:9
- 供职机构:清华大学
- 研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 工件台 位移测量系统
- 尹文生
- 作品数:320被引量:654H指数:12
- 供职机构:华中科技大学
- 研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 工位 直线电机
- 徐登峰
- 作品数:206被引量:53H指数:5
- 供职机构:清华大学
- 研究主题:光刻机 工位 平面电机 六自由度 基台
- 杨开明
- 作品数:268被引量:440H指数:11
- 供职机构:清华大学
- 研究主题:光刻机 平面电机 六自由度 工件台 直线电机