-
曾绍海
-
-
- 所属机构:上海集成电路研发中心
- 所在地区:上海市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家科技重大专项
相关作者
- 李铭
- 作品数：171被引量：5H指数：1
- 供职机构：上海集成电路研发中心
- 研究主题：淀积 光刻 刻蚀 衬底 介质层
- 左青云
- 作品数：80被引量：0H指数：0
- 供职机构：上海集成电路研发中心
- 研究主题：衬底 淀积 空气隙 介质层 存储器
- 黄仁东
- 作品数：41被引量：0H指数：0
- 供职机构：上海集成电路研发中心
- 研究主题：刻蚀 金属栅 金属 淀积 抛光
- 康晓旭
- 作品数：433被引量：6H指数：1
- 供职机构：上海集成电路研发中心
- 研究主题：像元 红外探测器 衬底 牺牲层 微桥结构
- 易春艳
- 作品数：13被引量：0H指数：0
- 供职机构：上海集成电路研发中心
- 研究主题：图形化 晶体管 鱼鳍 掩膜 光刻
