陈明星
作品数： 11被引量：0H指数：0
  • 所属机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
  • 所在地区:上海市
  • 研究方向:环境科学与工程

相关作者

曾爱军
作品数：228被引量：255H指数：11
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 起偏器 移相 测量方法 偏振
黄惠杰
作品数：491被引量：654H指数：16
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
张运波
作品数：20被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：投影光刻机 锥角 分光镜 反射镜 光源
程伟林
作品数：21被引量：22H指数：3
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 光学元器件 接收器 对接 驱动模块
王莹
作品数：21被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：锥角 聚焦透镜 图像传感器 投影光刻机 分光镜
作品列表