唐彬
作品数: 102被引量:32H指数:3
  • 所属机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
  • 所在地区:四川省 绵阳市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

苏伟
作品数:82被引量:22H指数:2
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度计 石英 键合 刻蚀 结构层
熊壮
作品数:52被引量:13H指数:2
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:石英 加速度计 极板 惯性开关 易加工
张照云
作品数:72被引量:24H指数:2
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:石英 极板 刻蚀 加速度计 结构层
彭勃
作品数:53被引量:69H指数:4
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度计 结构层 掩膜 微加速度计 硅片
刘显学
作品数:56被引量:23H指数:4
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:极板 石英 加速度计 微机械陀螺 微开关